ফ্যাব ফ্লোরে, PECVD চেম্বারের বেক প্রোফাইলে 0.5°C ড্রিফট একটি ফুটনোট নয়। এটি ওয়েফারের মধ্যে বেধের অ-এককতা, ভুল চাপ এবং অনেক লট যা বাতিল করা হয়, হিসাবে প্রকাশ পায়। আপনাকে এমন তাপ প্রয়োজন যা প্রক্রিয়ার অনুসরণ করে, অন্যভাবে নয়।
অন্তর্নিহিত গুরুত্বপূর্ণ বিষয় আমরা সংক্ষিপ্ত তরঙ্গ NIR-এর চারপাশে PECVD হিটিং ইনফ্রারেড ইমিটার তৈরি করেছি কারণ প্রতিক্রিয়া সময় সেকেন্ডে পরিমাপ করা হয়, মিনিটে নয়। লক্ষ্য হল বেক জোনে ±0.1°C-এর ওয়েফার-স্তরের এককতা বজায় রাখা, এবং এটি সফট বেক এবং হার্ড বেক রেসিপি উভয় সময়ে স্থির থাকে। কোয়ার্টজ এনভেলপ এবং সিরামিক বডি ক্লিনরুম-সঙ্গতিপূর্ণ ক্লাস 1–100 পরিবেশের জন্য, এবং তাপীয় ডিজাইন কণার উৎপাদনকে শূন্যে রাখে। আউটপুট পুনরাবৃত্তি হাজার হাজার সাইকেলের মধ্যে 1% এর মধ্যে থাকে, তাই আপনার তাপীয় বাজেট নিয়ন্ত্রণে থাকে। কেন এটি লিথোগ্রাফি এবং PECVD-এ আচরণ করে ফটোরেজিস্ট এবং জমা দেওয়া ফিল্মগুলি গরম স্থান এবং ঠান্ডা প্রান্তের প্রতি সংবেদনশীল। এই ইমিটার কেন্দ্রে থেকে প্রান্ত পর্যন্ত তাপীয় প্রোফাইলকে সঙ্গতিপূর্ণ রাখে, যা লাইন-প্রস্থের পরিবর্তনকে হ্রাস করে এবং ফলন বাড়ায়। দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়া চেম্বারের টার্নঅ্যারাউন্ড সময়কে কমায়, এবং স্থিতিশীল নির্গমন অপচয়িত শক্তিকে কমায়। প্রক্রিয়ার জানালাগুলি পূর্বাভাসযোগ্যভাবে সংকীর্ণ হয়, পুনঃযোগ্যতার সংখ্যা কমে আসে এবং অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম কমে যায়। আপনি যা এড়াতে পারবেন না সেই ব্যবহারিক বিবরণ ইমিটার তখনই কার্যকরী হয় যখন এটি সঠিক রিফ্লেক্টর জিওমেট্রি এবং পাওয়ার সাপ্লাইয়ের সাথে মেলে। বিদ্যমান চেম্বার ফিক্সচার এবং সংযোগকারীদের সাথে স্পষ্ট সামঞ্জস্যের প্রয়োজনীয়তার আশা করুন, এবং রেট্রোফিটের সময় অ্যালাইনমেন্ট সহনশীলতা সতর্কতার সাথে পরিকল্পনা করুন। আউটপুট স্থিতিশীলতা সবচেয়ে শক্তিশালী হয় যখন বায়ু প্রবাহ এবং মাউন্টিং চাপ নির্দিষ্ট জানালার মধ্যে থাকে, তাই যান্ত্রিক ইন্টারফেসকে তাপীয় সিস্টেমের অংশ হিসাবে বিবেচনা করুন, পরে মনে করার মতো কিছু নয়।