V prostředí výroby může jeden kapek vody po procesu litografie způsobit velké problémy. Konvenční metody sušení způsobují kolísání teploty a částice se dostávají z horkých povrchů přímo do fólie. Vyvinuli jsme lampy na sušení deionizované vody, které eliminují tyto problémy. Krátkovlnné infračervené záření rychle ohřívá vodní film, aniž by došlo k přehřátí fotorezisty. Tím se wafty suší čistě a udržuje se stabilní teplota během procesu sušení.
Co je důležité Krátkovlnné infračervené záření rychle proniká vodním filmem. Křemenná obálka a geometrie reflektoru zajistí, že teplo zůstane tam, kde je potřeba. Dosahuje se tak rovnoměrnosti teploty na úrovni waftů v rozmezí ±0,1 °C a je možné precizně kontrolovat teplotu během sušení fotorezistu. Systém funguje v čistých prostorách třídy 1–100. Vyhřívaná oblast nevytváří žádné částice a nedochází k uvolňování plynů, které by mohly kontaminovat fotorezist. Intenzita napájení je nastavena tak, aby docházelo k odpařování bez překročení teplotních limitů fotorezistu. Výkon lampy zůstává stabilní po celou dobu provozu – dosud jsme pozorovali, že lampy fungují více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %.
Proč to výhodné je v průmyslu Lampa nahrazuje pomalejší procesy konvekce a použití horkých desek. Wafty se tak suší rychleji a úhel kontaktu zůstává stabilní. Profily fotorezistu zůstávají stabilní i mezi jednotlivými cykly. Výsledkem je méně oprav, méně odpadu a stabilní kontrola kritických rozměrů. Spotřeba energie klesá, protože ohříváme vodu a wafty, nikoliv vzduch kolem nich. Intervaly výměny lamp se prodlužují a doby údržby se zkracují díky konstrukci bez pohyblivých součástek a velké tepelné hmotnosti.
Na co si dávat pozor Při instalaci je nutné sladit lampu s otvory nástroje, zdrojem napájení a systémem chlazení. Zkontrolujte napětí a kompatibilitu konektorů a ujistěte se, že tepelný profil lampy odpovídá vašim požadavkům. Lampa funguje nejlépe, když je chemie povrchu waftů pod kontrolou. Stopové množství povrchově aktivních látek mohou ovlivnit proces sušení, proto je potřeba je kontrolovat již v počáteční fázi.