Auf dem Fabrikboden ist eine Drift von 0,5 °C im Bake-Profil der PECVD-Kammer kein Fußnote. Sie zeigt sich als Dickeuneinheitlichkeit über dem Wafer, als Abweichung im Stress und führt zu vielen Ausschussstücken. Sie benötigen Wärme, die dem Prozess folgt, nicht umgekehrt.
Was unter der Haube zählt Wir haben den PECVD-Heizungs-Infrarotstrahler um kurzwelliges NIR entwickelt, da die Reaktionszeit in Sekunden und nicht in Minuten gemessen wird. Das Ziel ist eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C in der Bake-Zone, die sowohl während der Soft-Bake- als auch der Hard-Bake-Rezepte konstant bleibt. Das Quarzgehäuse und der keramische Körper sind reinraumkompatibel für Klassen 1–100 Umgebungen, und das thermische Design hält die Partikelgenerierung auf null. Die Wiederholgenauigkeit der Ausgabe bleibt über Tausende von Zyklen innerhalb von 1 %, sodass Ihr thermisches Budget kontrolliert bleibt. Warum es sich in der Lithographie und PECVD verhält Photolack und aufgebrachte Filme sind empfindlich gegenüber Hotspots und kalten Rändern. Dieser Strahler hält das Temperaturprofil von der Mitte bis zum Rand konstant, was die Linienbreitenvariation verringert und den Ertrag verbessert. Eine schnelle thermische Reaktion verkürzt die Umrüstzeit der Kammer, und eine stabile Emission reduziert den Energieverlust. Die Prozessfenster verengen sich vorhersehbar, mit weniger Neuzertifizierungen und weniger ungeplanten Ausfallzeiten. Die praktischen Details, die Sie nicht übersehen können Der Strahler funktioniert, wenn er mit der richtigen Reflektor-Geometrie und Stromversorgung abgestimmt ist. Erwarten Sie klare Kompatibilitätsanforderungen mit bestehenden Kammerbefestigungen und Anschlüssen und planen Sie die Ausrichtungsgenauigkeit sorgfältig während einer Nachrüstung. Die Stabilität der Ausgabe ist am stärksten, wenn Luftstrom und Montage Druck innerhalb des spezifizierten Fensters bleiben, behandeln Sie die mechanische Schnittstelle daher als Teil des thermischen Systems und nicht als nachträglichen Gedanken.