Aus dem Reinigungsbad kommt ein Wafer mit einem Film von DI-Wasser. Der Trockenschrank muss diese Feuchtigkeit entfernen, ohne den Fotolack zu beschädigen oder Partikel aufzuwirbeln. Wenn die Zeitschaltuhr driftet, schwankt die Verweilzeit – und das zeigt sich in der Fertigung als Ertragsverlust. Deshalb haben wir einen Timer für Wafer-Trockenschränke entwickelt, der den Prozess präzise steuert.
Technische Anforderungen
Dieser Timer ist für thermische Anlagen in der Halbleiterfertigung ausgelegt. Die Timing-Genauigkeit beträgt 0,1 %, die Reproduzierbarkeit ±10 ms. Er lässt sich direkt in die Ofensteuerung integrieren, mit 24 VDC und SPS-Interlocks, und ist nach IP54 gegen feuchte, chemisch belastete Luft in Reinigungsbereichen geschützt. Die Konstruktion ist für Reinräume geeignet, verwendet Materialien mit geringem Ausgasungsverhalten, und das Display zeigt die verstrichene Zeit sowie den Abschluss des Zyklus an – ohne Interpretationsspielraum. Die Bedienoberfläche ist bewusst einfach gehalten: Einstellen, Starten, Bestätigen.
Bedeutung beim Trocknungsschritt
Beim Wafer-Trocknen ist der thermische Spielraum eng bemessen. Ist der Zyklus zu kurz, bleiben Wassertropfen zurück. Ist er zu lang, droht ein Reflow des Fotolacks oder es entstehen Probleme mit dem Randabschluss nach der nächsten Beschichtung und Einbrennung. Der Timer eliminiert die Variable Bedienereingriff und stellt den gleichen Zyklus bei jeder Charge sicher.
Das Ergebnis sind gleichbleibende Trockenheit, geringere Nacharbeiten und stabile Partikelwerte über Schichten hinweg. Zudem unterstützt er die Dokumentation, indem er Zykluszeiten für SPC protokolliert, ohne die Produktionslinie zu stören.
Erforderliches für die Installation
Die Installation erfordert die Anpassung an die Steuerungsspannung und die Interlocklogik des Ofens. Wir liefern Anschlusspläne und Kalibrier-Offsets, damit das Zeitfenster des Timers mit dem Ofen-Anstieg und der Haltezeit synchronisiert ist. Planen Sie eine 15-minütige Integrationsprüfung während eines Wartungsfensters ein.
Der Timer ist robust, ersetzt jedoch nicht die Temperaturregelung. Zusammen mit einem validierten Plan zur thermischen Uniformität des Ofens ist er einsatzbereit.