¿Por qué el calentamiento por infrarrojos es mejor que el uso de aire caliente para secar las obleas de sensores MEMS?
Si todavía utiliza el aire caliente para secar sus obleas de sensores MEMS, está perdiendo mucho tiempo simplemente esperando. Es un obstáculo significativo en el proceso de secado.
El problema con el aire caliente es que depende de la convección: primero hay que calentar el aire, y luego ese aire debe calentar la oblea. Es un proceso intermedio, y por lo tanto lento.
El calentamiento por infrarrojos es diferente. Utiliza radiación electromagnética para calentar directamente la superficie de la oblea. No hay necesidad de intermediarios. Hemos visto cómo los ciclos de secado se reducen de varios minutos a tan solo unos segundos. Cuando se trata de líneas de producción a gran escala, esto representa una gran ventaja: se pueden procesar más obleas por hora, sin necesidad de construir salas limpias más grandes.
Pero no basta con colocar una lámpara de infrarrojos dentro de un horno convencional. Para lograr esa velocidad, se necesita una alta densidad de potencia. Por lo general, utilizamos lámparas de infrarrojos de onda corta, ya que estas logran penetrar rápidamente en la capa líquida que cubre la oblea. Pero hay un problema: esa intensidad puede ser demasiado alta. Se necesita un revestimiento adecuado y reflectores bien diseñados. De lo contrario, existe el riesgo de dañar la oblea o los sensores.
También está el aspecto del control. Las lámparas de infrarrojos alcanzan su temperatura objetivo casi al instante. Si los controladores PID no son lo suficientemente rápidos, es posible que la temperatura exceda el valor deseado, lo que podría dañar las estructuras MEMS. Se necesita un sistema de control capaz de mantenerse al paso con esa velocidad.
Por lo general, recomendamos combinar estos calentadores con reflectores de cuarzo precisos, para así concentrar la energía. Claro, configurar el sistema de calentamiento por infrarrojos es un poco más complicado que simplemente instalar un soplador y un elemento calefactor. Pero cuando se ve cuánto tiempo se ahorra, el costo del equipo suele compensarse en pocos meses.