در فرآیند تولید، حتی وجود یک نقطه آب در لایههای رزیست، میتواند باعث اختلالات زیادی شود. روشهای معمول خشک کردن، منجر به تغییرات دمایی میشوند؛ همچنین ذرات موجود روی سطوح داغ، مستقیماً وارد لایههای رزیست میشوند. ما لامپهای خشککن آب بدون یون ساختهایم تا از این نوسانات جلوگیری کنند. امواج مادون قرمز کوتاه، به سرعت به لایه آب برخورد کرده و سطح آن را گرم میکنند؛ بدون اینکه دمای رزیست افزایش یابد. این روش باعث میشود ویفرها به خوبی خشک شوند و کنترل دمایی در محدوده مناسبی حفظ شود.
چه چیزهایی مهم هستند؟
امواج مادون قرمز کوتاه، به سرعت از میان لایه آب عبور میکنند. ساختار کوارتزی و بازتابندهها، گرما را در جای مناسب نگه میدارند. در نتیجه، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین کنترل دمایی نیز قابل تکرار است. این سیستم در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ کار میکند. منطقه گرمایشی، هیچ ذرهای تولید نمیکند؛ همچنین هیچ گازی برای آلوده کردن رزیست تولید نمیشود. تراکم انرژی نیز به گونهای تنظیم شده است که باعث تبخیر آب شود، بدون اینکه دمای رزیست افزایش یابد. خروجی لامپ نیز در تمام ساعات ثابت باقی میماند؛ ما شاهد بودهایم که این لامپها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند، بدون اینکه کاهشی در عملکرد آنها رخ دهد.
چرا این روش در تولید مفید است؟
در این روش، لامپ جایگزین روشهای سنتی خشک کردن میشود؛ در نتیجه، ویفرها سریعتر خشک میشوند و زاویه تماس آنها نیز ثابت باقی میماند. پروفایلهای رزیست نیز در هر بار کار، یکسان خواهد بود. این روش منجر به کاهش کارهای تکراری، کاهش مواد بازیافتی، و کنترل دقیق ابعاد میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا ما تنها آب و ویفرها را گرم میکنیم، نه هوای اطراف آنها. همچنین، زمان تعویض لامپها نیز طولانیتر میشود؛ زیرا این سیستم از قطعات متحرک و جرم حرارتی زیاد استفاده نمیکند.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شوند؟
برای نصب لامپ، باید آن را با دهانه ابزار، منبع تغذیه و سیستم خنککننده سازگار کرد. باید ولتاژ و سازگاری کانکتورها را بررسی کرد؛ همچنین باید اطمینان حاصل کرد که پروفایل حرارتی لامپ، با روشهای موجود هماهنگ باشد. لامپ در صورتی بهترین عملکرد را دارد که شیمی سطح ویفر تحت کنترل باشد. مواد کمیاب موجود در سطح ویفر، میتوانند بر فرآیند خشک کردن تأثیر بگذارند؛ بنابراین باید این مواد را کنترل کرد.