Out on the line، اجرای الکترونیک منعطف در لحظهای که دمای پخت فوتورزیست تغییر میکند، به صورت جانبی منحرف میشود. در سطح ویفر 300 mm، چند دهم درجه کافی است تا عرض خطوط را محو کند و تا زمانی که متروژی دسته را علامت ندهد، متوجه نمیشوید—در آن زمان، قطعهها قبلاً ضایعات شدهاند. چیزی که نیاز دارید، حرارتی است که بتوان به آن اعتماد کرد: دمایی که دقیقاً طبق دستورالعمل است، در سراسر زیرلایه.
موارد فنی مهم
ما این هیتر ویفر را حول کنترل حرارتی با کیفیت نیمههادی ساختهایم. هسته دستگاه ±0.1°C یکنواختی دما را در ناحیه فعال حفظ میکند، بنابراین هر دی دقیقا بودجه حرارتی یکسانی دریافت میکند. محفظه با کلاس تمیزی از Class 1 تا Class 100 سازگار است و سطوح آن به گونهای انتخاب شده که شمار ذرات را ثابت نگه دارد. تولید صفر ذره شعار نیست—یک محدودیت طراحی است که به صورت درجا تأیید شده است. تکرارپذیری تنظیم دما به اندازهای دقیق است که پروفایلهای پخت نرم و سخت از دستهای به دسته دیگر بدون نیاز به تنظیم مجدد منتقل میشوند.
چرا در عمل عملکرد پایداری دارد
زیرلایههای منعطف نقاط داغ را تحمل نمیکنند—کجشدگی و جداشدگی سریع ظاهر میشود. این هیتر سطح ویفر را ایزوترمال نگه میدارد، بنابراین در حین پخت فوتورزیست، پایداری ابعادی حفظ میشود. نتیجه کاهش دوبارهکاری، افزایش بازده در اولین عبور و زمان چرخهای است که میتوان برای آن برنامهریزی کرد. توان مصرفی با تثبیت سریع و جرم حرارتی پایین کنترل میشود، بنابراین در هر تغییر مرحله دستورالعمل، هزینه اضافه دما پرداخت نمیکنید.
فرایند کنترلپذیری که میتوان آن را بازبینی کرد، خواهید داشت: عرض خطوط (CD) یکنواخت، ضخامت فیلم پایدار و پروفایل حرارتی که با انتظارهای فاب مطابقت دارد.
مواردی که باید برای آن برنامهریزی کنید
دستگاه در خطوط موجود و ابزارهای coat/bake جای میگیرد، اما لازم است ابعاد و رابطها را با محدوده ابزار خود تطبیق دهید. راهاندازی کوتاه است—فقط به اندازهای که شیبهای حرارتی و زمانهای تثبیت با لایههای رزین شما همراستا شوند.
یک محدودیت قابل توجه: عملکرد به جریان هوای کنترلشده وابسته است، پس دستگاه را در جایی که جریان لامینار مختل میشود نصب نکنید. پس از تنظیم، دستگاه به صورت 24/7 کار میکند و با چکهای پیشگیرانه دورهای، مشخصات یکنواختی دما در طول دورههای PM برنامهریزی شده حفظ میشود.