دست از هدر دادن گرما بردارید: چرا استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا برای ویفرهای سیلیکونی اهمیت زیادی دارد؟
وقتی که در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید، هر وات انرژی بسیار ارزشمند است.
اکثر مردم از محفظههای استاندارد فولاد ضدزنگ استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این محفظهها مقدار زیادی انرژی را جذب و پراکنده میکنند. این موضوع مانند تلاش برای روشن کردن یک اتاق با لامپ کمنور و دیوارهای تیره است. ما برای حل این مشکل، از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
طلا، بهترین ماده برای بازتاب انرژی مادون قرمز است؛ این ماده نه تنها به بازتاب انرژی کمک میکند، بلکه آن انرژی را مستقیماً به سطح ویفر برمیگرداند.
راز تمرکز انرژی
معمولاً، گرمکنهای صنعتی انرژی را در همه جهات پراکنده میکنند؛ بدون استفاده از بازتابندههای با کیفیت بالا، حدود نیمی از انرژی صرفاً در بدنه دستگاه هدر میرود. این یک هدررفت کامل انرژی است.
طلا این وضعیت را تغییر میدهد؛ با افزودن یک لایه نازک از طلا با خلوص بالا، ما گرما را درون محفظه نگه میداریم. در نتیجه، تمرکز انرژی بهتر میشود و دما در سراسر ویفر یکنواخت میماند. دیگر نیازی به حدس زدن نیست.
ساخت صحیح این محفظهها (و معایب آن)
ما از فولاد ضدزنگ برای ساخت این محفظهها استفاده میکنیم تا در برابر دماهای بالا سفت بمانند و تغییر شکل ندهند. سپس، طلا را از طریق روش تهنشینی خلأ روی سطح محفظه اعمال میکنیم.
اما یک هشدار مهم: تمیزی بسیار مهم است. حتی کمترین لکه روغن یا گرد و غبار روی سطح طلا میتواند باعث ایجاد «نقاط سرد» روی ویفر شود؛ در این صورت، یکنواختی فرآیند از بین میرود.
کاربرد عملی
وقتی که این محفظهها نصب شدند، متوجه خواهید شد که برای رسیدن به دمای مورد نظر، نیاز به انرژی کمتری وجود دارد.
شما دو گزینه دارید: میتوانید میزان انرژی مصرفی را کاهش دهید تا از هزینه برق صرفهجویی کنید، یا میتوانید از این کارایی بیشتر برای افزایش سرعت دستگاه استفاده کنید. تصمیم با خودتان است.
فقط به یاد داشته باشید که طلا نرم است؛ بسیار نرمتر از فولاد. لطفاً، برای حفظ کارایی دستگاه، از پدهای ساینده برای تمیز کردن آنها استفاده نکنید؛ در غیر این صورت، لایه طلا از بین رفته و تمام کاراییهای حاصل از استفاده از طلا از بین خواهد رفت.
فقط کافی است آنها را به برق متصل کنید، کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید تا بتوانند انرژی اضافی را مدیریت کنند؛ در نتیجه، تفاوت انرژی وارد شده به ویفر را خواهید دید.