در خط تولید، میدانید که چه اتفاقی میافتد: حتی انحراف نیم درجهای در دمای فر، میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم شود و منجر به ایجاد نقصهایی در فیلم فتوحساس شود. بنابراین، به منبع گرمایی نیاز داریم که رفتار ثابتی داشته باشد، نه یک متغیر نامشخص که باید آن را تحت کنترل داشت.
موارد مهم از نظر فنی:
ما از لامپهایی با دو لوله و پوشش طلا استفاده میکنیم؛ این لامپها از موجهای مادون قرمز کوتاه برای گرم کردن سطح ویفر استفاده میکنند. این روش باعث گرمایش سریع و متمرکز میشود، در حالی که اتلاف انرژی به حداقل میرسد. ساختار دو لولهای این لامپها، توزیع گرما را بهتر میکند؛ در نتیجه، نقاط داغ کمتری ایجاد میشود و یکنواختی سطح ویفر بهبود مییابد.
در عمل، میتوانیم یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد در فرآیندهای گرم کردن داشته باشیم؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در حد ±۰٫۲ درجه سانتیگراد بین دستههای مختلف ویفرها است. پوشش طلا، موجهای مادون قرمز را دوباره به سمت ناحیه مورد نظر بازتاب میدهد؛ این کار باعث کنترل بهتر دما و کاهش مصرف انرژی میشود. پس از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، خروجی لامپ همچنان پایدار باقی میماند، و انحراف شدت نور کمتر از ۵٪ است.
چرا این روش در تولید موفقیتآمیز است؟
فرآیند فتوحساسسازی، اشتباهات زیادی را تحمل نمیکند. فرآیند گرم کردن ملایم، ویسکوزیته و چسبندگی فیلم فتوحساس را تعیین میکند؛ در حالی که فرآیند گرم کردن شدید، تصویر را تثبیت کرده و ویفر را برای فرآیند حکاکی آماده میکند. این لامپها میتوانند خطوط لیتوگرافی را از ۱۵۰ میلیمتر تا ۳۰۰ میلیمتر پوشش دهند؛ همچنین، در محیطهای پاک از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ نیز قابل استفاده هستند. این لامپها هیچ ذرهای تولید نمیکنند.
در نتیجه، کنترل ابعاد ویفر بهتر میشود، تعداد ویفرهایی که نیاز به تعمیر دارند کاهش مییابد، و مقدار ضایعات نیز کمتر میشود. گرما دقیقاً به جایی میرود که لازم است؛ بنابراین، انرژی بیشتری هدر نمیرود. همچنین، این لامپها میتوانند در شرایط کار ۲۴/۷ نیز کار کنند؛ در نتیجه، مشکلات کمتری پیش میآید و زمان تعمیرات نیز کمتر خواهد بود.
نکاتی که باید در هنگام نصب در نظر گرفت:
نصب این لامپها نیازمند تنظیم دقیق اپتیکی و استفاده از قابهایی که از لرزشها جلوگیری کنند، است. حتی انحراف چند میلیمتری در تنظیمات، میتواند باعث اختلال در یکنواختی دما شود.
این لامپها با شدت نور بالایی کار میکنند؛ بنابراین، باید سیستم مدیریت گرمایی و زمان کار لامپ را با الگوهای مربوطه تطبیق داد. قبل از نصب، حتماً ولتاژ و سازگاری کانکتورها با سیستمهای مربوطه را بررسی کنید. وقتی که همه چیز درست تنظیم شود، میتوانید از پروفیلهای گرمایی یکنواختی برای هر روز و هر دسته از ویفرها استفاده کنید.