Arrêtez de gaspiller de la chaleur : pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants pour vos wafer
Lorsque vous chauffez un wafer en silicium, chaque watt est précieux. La plupart des gens utilisent simplement des boîtiers en acier inoxydable poli, mais le problème, c’est que ces derniers absorbent et dispersent beaucoup trop d’énergie. C’est comme essayer d’éclairer une pièce avec une ampoule faible et des murs sombres. Nous utilisons donc des réflecteurs revêtus d’or pour résoudre ce problème.
L’or est le roi de la réflexivité infrarouge. Il ne se contente pas de « contribuer » à la transmission de l’énergie : il la renvoie directement sur la surface du wafer, là où elle doit se trouver.
Le truc pour concentrer l’énergie
En général, les chauffages industriels diffusent la chaleur dans toutes les directions. Sans réflecteur performant, environ la moitié de l’énergie est perdue dans le châssis de la machine. C’est purement et simplement du gâchis.
L’or change la donne. En ajoutant une couche fine d’or de haute pureté sur le boîtier, nous permettons à la chaleur de rester confinée à l’intérieur de la cavité. On obtient ainsi une concentration bien plus efficace de la chaleur, et une température constante sur tout le wafer. Plus besoin d’élaborer des hypothèses.
Comment les fabriquer correctement (et les compromis à accepter)
Nous fabriquons ces boîtiers en acier inoxydable afin qu’ils restent rigides et ne sDéforment pas pendant les cycles de haute température. Ensuite, nous appliquons l’or par dépôt sous vide.
Mais attention : la propreté est essentielle. Un petit poussières ou une trace d’huile sur cette surface en or peut créer des « zones froides » sur le wafer. Si cela arrive, l’uniformité du processus est compromise.
En pratique
Une fois ces boîtiers en place, vous verrez que vous avez moins besoin d’énergie pour atteindre les températures souhaitées. Vous avez deux choix : soit vous réduisez la puissance consommée pour économiser de l’électricité, soit vous utilisez cette énergie supplémentaire pour augmenter les vitesses de traitement. C’est à vous de décider.
N’oubliez pas : l’or est doux. Beaucoup plus doux que l’acier. S’il vous plaît, ne frottez pas ces boîtiers avec des tampons abrasifs. Sinon, vous endommagerez la couche d’or et perdrez tous les avantages liés à sa présence.
Il suffit de les connecter électriquement, de régler les contrôleurs PID afin de gérer le flux thermique accru, et vous remarquerez immédiatement la différence dans la manière dont l’énergie atteint la cible.