Hors du bain de nettoyage, une plaquette sort avec une fine couche d’eau DI. Le four de séchage doit éliminer cette humidité sans cuire la photorésine ni générer de particules. Si le minuteur dérive, le temps de séjour fluctue — ce qui se traduit sur la ligne par une baisse de rendement. Nous avons donc conçu un minuteur pour les fours de séchage de plaquettes qui garantit la fiabilité du procédé.
Fonctions techniques requises
Ce minuteur est destiné aux équipements thermiques pour semi-conducteurs. La précision de la temporisation atteint 0,1 %, avec une répétabilité de ±10 ms. Il se connecte directement aux boucles de contrôle du four, avec une alimentation 24 VDC et des interverrouillages PLC, et bénéficie d’une protection IP54 adaptée à l’air humide et chargé en produits chimiques des zones de nettoyage. Construction conforme aux salles propres, matériaux à faible dégazage, et un affichage indiquant le temps écoulé ainsi que la fin du cycle — sans laisser place à l’incertitude. L’interface reste volontairement simple : réglage, démarrage, confirmation.
Pourquoi cela est important à l’étape de séchage
Le séchage des plaquettes requiert un budget thermique très précis. Si le cycle est trop court, des traces d’eau apparaissent. S’il est trop long, il y a un risque de refusion de la photorésine, ou des problèmes de bords après la prochaine couche et cuisson. Ce minuteur élimine la variable opérateur et garantit la répétition rigoureuse du cycle, lot après lot.
Le résultat est un séchage homogène, un nombre réduit de retouches, et une stabilité des niveaux particulaires d’un poste à l’autre. Il facilite également la gestion documentaire en enregistrant les durées de cycle pour le SPC, sans créer de perturbations sur la ligne.
Informations essentielles pour l’installation
L’installation consiste à aligner la tension de commande du four et la logique des interverrouillages. Des schémas de câblage et des compensations de calibration sont fournis pour synchroniser la plage de minuterie avec les phases de montée en température et de maintien. Prévoyez 15 minutes pour un contrôle d’intégration lors d’une plage de maintenance.
Le minuteur est robuste, mais ne remplace pas la régulation thermique. Il doit être associé à un plan vérifié d’homogénéité thermique du four pour garantir la fiabilité du procédé.