במפלס הפאב, סטייה של 0.5°C בפרופיל האפייה של חדר ה-PECVD אינה הערת שוליים. היא מתבטאת כאי-אחידות בעובי על פני השבב, מתח לא תקני והרבה סדנאות שנזרקות. אתם זקוקים לחום שממשיך את התהליך, ולא להפך.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
בניתם את מפיץ החום האינפרא אדום של ה-PECVD סביב NIR קצר טווח כי זמן התגובה נמדד בשניות, לא בדקות. היעד הוא אחידות ברמת השבב של ±0.1°C על פני אזור האפייה, והוא נשאר יציב במהלך מתכוני האפייה הרכה והקשה. המעטפת מזכוכית הקוורץ והגוף הקרמי מתאימים לחדרים נקיים לסביבות Class 1–100, ועיצוב התרמלי שומר על ייצור חלקיקים באפס. חזרת הפלט נשארת בטווח של 1% על פני אלפי מחזורי עבודה, כך שהתקציב התרמי שלכם נשאר בשליטה.
למה זה מתנהג בליתוגרפיה וב-PECVD
חומרים רגישים לאזורים חמים וקרים. המפיץ הזה שומר על פרופיל תרמי אחיד מהמרכז עד הקצה, מה שמפחית את השונות ברוחב הקו ומשפר את התשואה. תגובה תרמית מהירה מקצרת את זמן ההפסקה בחדר, ופלט יציב מפחית אנרגיה מבוזבזת. חלונות התהליך מתהדקים באופן צפוי, עם פחות מחדש-כישורים ופחות זמן השבתה לא מתוכנן.
הפרטים המעשיים שלא תוכלו לדלג עליהם
המפיץ פועל כאשר הוא מותאם לגאומטריית המפנה הנכונה וספק הכוח. צפו לדרישות תאימות ברורות עם מתקני החדר הקיימים ומחברים, ותכננו את טולרציית הכיוונון בזהירות במהלך שדרוג. יציבות הפלט היא החזקה ביותר כאשר זרימת האוויר ולחץ ההתקנה נשארים בטווח המוגדר, לכן התייחסו לממשק המכני כחלק מהמערכת התרמית, ולא כחשיבה מאוחרת.