מחוץ לאמבט הניקוי, מגיע וייפר עם שכבת מים DI. תנור הייבוש צריך להסיר את הלחות הזו בלי לבשל את הפוטורזיסט או לגרום להתרוממות חלקיקים. אם הטיימר זז, זמן ההמתנה משתנה—וזה מתבטא בקו כתיבת ליקויים. לכן פיתחנו טיימר לתנורי ייבוש וייפרים ששומר על תהליך מדויק.
מה הטיימר צריך לעשות, מבחינה טכנית
הטיימר מיועד לציוד תרמי בתחום הסמיקונדקטור. דיוק התזמון מגיע עד 0.1%, וחזרתיות של ±10 ms. הוא מתחבר ישירות ללולאות בקרה של התנור, עם 24 VDC ומנעולים PLC, ומדורג IP54 לסביבת אוויר רטובה וכימית באיזורי הניקוי. מבנה תואם לחדרים נקיים, חומרי פליטה נמוכה ותצוגה המציגה את הזמן שחלף וסיום מחזור—ללא צורך בהנחות. הממשק נשאר נקי ומדויק: הגדרה, הפעלה, אישור.
מדוע זה קריטי בשלב הייבוש
ייבוש הוויפר מתנהל במסגרת תקציב תרמי מחמיר. אם מחזור הייבוש קצר מדי, מופיעות סימני מים. אם המחזור ארוך מדי, קיים סיכון לreatflow של הפוטורזיסט או נגרמת בעיה בחריטת הקצה בשלב הציפוי/אפייה הבא. הטיימר מבטל את המשתנה האנושי ומבטיח מחזור אחיד לכל אצווה ואצווה.
התוצאה היא ייבוש עקבי, פחות עבודות תיקון ומספר חלקיקים שאינו משתנה בין משמרות. כמו כן, הוא משפר את ניהול התיעוד על ידי רישום זמני המחזור ל-SPC ללא הכנסת רעש בקו הייצור.
מה שצריך לדעת להתקנה
התקנת הטיימר מתבססת על התאמת מתח הבקרה של התנור ולוגיקת המנעולים. אנו מספקים שרטוטי חיבור ו-offset כיול כך שהחלון של הטיימר יתאים לעלייה והשהייה של התנור. מומלץ לבצע בדיקת אינטגרציה של 15 דקות במסגרת תחזוקה.
הטיימר עמיד, אך אינו מחליף שליטה בטמפרטורה. מומלץ לשלב אותו עם תוכנית אימות אחידות תרמית של התנור כדי לוודא תהליך תקין.