באזור הייצור, כמו שאתם יודעים, חשוב מאוד שהחימום יהיה אחיד. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום יכול לגרום לאובדן שליטה בממדים החשובים של השבב, ולכן עלולים להופיע פגמים בשבב. יש צורך במקור חום שיפעל בצורה עקבית, ולא כמשתנה שצריך לעקוב אחריו.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בנורה עם שני צינורות, מצופה בזהב, שפועלת באמצעות קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר. הנורה נמצאת במעטפת של קוורץ מצופה בזהב. התוצאה היא חימום מהיר וממוקד, עם אובדן מינימלי של חום. המבנה הדו-צינורתי מאפשר חימום אחיד, מה שמפחית את האזורים החמים ומשפר את האחידות בכל שטח השבב.
בפועל, ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C במהלך תהליך החימום, ואחידות של ±0.2°C בין סדרות שונות של שבבים. הציפוי הזהוב מחזיר את קרינת האינפרא-אדום לאזור הרצוי, מה שמשפר את השליטה בטמפרטורה ומפחית את צריכת האנרגיה. לאחר 5,000 שעות ויותר, הביצועים נשארים יציבים, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת החימום.
למה זה עובד טוב בייצור? תהליך עיבוד הפוטורזיסט לא מסוגל לסבול שגיאות רבות. תהליך החימום הרך קובע את הוויסקוזיות והאחיזה של החומר, ותהליך החימום הקשה מסיים את תהליך הייצור ומכין את השבב לעיבוד נוסף. הנורה הזו יכולה לעבוד בטווח של 150 ממ עד 300 ממ, והיא מתאימה לשימוש בחדרי ניקיון מסוג 1 עד 100. היא אינה יוצרת שום חלקיקים במהלך פעולתה.
כתוצאה מכך, ניתן להשיג שליטה טובה יותר בממדים של השבב, פחות צורך בעיבוד מחדש, ופחות פסולת. החום מגיע למקומות הנכונים, כך שאין בזבוז אנרגיה. בנוסף, הנורה יכולה לעבוד 24/7, מה שמפחית את הצורך בתחזוקה.
על מה צריך לשים לב בעת ההתקנה? ההתקנה דורשת התאמה מדויקת של הנורה למערכת, וכן שימוש במערכת שמוגנת מפני רטטים. שגיאה של כמה מילימטרים בהתאמה יכולה לפגוע באחידות של החימום.
הנורה פועלת בעוצמה גבוהה, לכן יש צורך להתאים את מערכת הטיפול בחום ואת זמן הפעולה של הנורה לתהליך הייצור. לפני ההתקנה, יש לבדוק שהמתח והחיבורים תואמים למערכת שלכם. כשהכל מותאם כראוי, ניתן לקבל תוצאות עקביות, יום אחר יום, סדרה אחר סדרה.