फैन-आउट डब्ल्यूएलपी प्रक्रिया में, बेकिंग चरण के दौरान ही वेफरों पर “लाइव” एवं “डाई” भाग अलग हो जाते हैं। फोटोरेसिस्ट पर थर्मल विचलन, या एपॉक्सी मोल्ड कंपाउंड के सुखने में कुछ डिग्री का अंतर… ऐसी स्थितियों में लाइनों की चौड़ाई में असंतुलन हो जाता है; इसके परिणामस्वरूप अंडरफिल वॉल्यूज एवं वेफरों में विकृति भी हो जाती है। पैनलों पर थर्मल असमानताएँ केवल ग्राफों में ही नहीं दिखतीं… बल्कि इसके परिणामस्वरूप अयोग्य उत्पाद भी बन जाते हैं, एवं उत्पादन क्षमता भी कम हो जाती है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हमने इस फैन-आउट डब्ल्यूएलपी हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि यह सेमीकंडक्टर उपकरणों में उपयोग होने वाले थर्मल मानकों को पूरा कर सके। सेटपॉइंट स्थिरता ±0.1°C है; इससे वेफरों की सतह पर थर्मल समानता बनी रहती है। क्वार्ट्ज-संवर्धित थर्मल कपलिंग तत्वों के कारण इस हीटर में त्वरित प्रतिक्रिया होती है, एवं थर्मल नियंत्रण भी बेहतर होता है।
क्लास 1–100 के क्लीनरूम में उपयोग हेतु उपयुक्त:
इस हीटर का डिज़ाइन ऐसा है कि इसे क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में आसानी से उपयोग किया जा सकता है। इसमें ऐसी सामग्रियों का उपयोग किया गया है, जिनसे कोई गैस नहीं निकलती। यह हीटर 24/7 काम कर सकता है… बिना किसी बाधा के… एवं प्रक्रिया की पुनरावृत्ति भी सुनिश्चित होती है।
यहाँ यह हीटर क्यों कारगर है?
फैन-आउट डब्ल्यूएलपी प्रक्रिया में, ऊर्जा को बड़े, पतले पैनलों पर ही लगाया जाता है… ताकि किनारों पर कोई नुकसान न हो। यह हीटर तापमान नियंत्रण को ठीक वहीं करता है… यानी रेजिस्ट एवं मोल्ड के इंटरफेस पर… इससे थर्मल ग्रेडिएंट्स के कारण कोई तनाव या आयामी अस्थिरता नहीं होती। इससे प्रदर्शन स्थिर रहता है… पुनर्कार्य कम हो जाता है… एवं सुखने की प्रक्रिया भी स्थिर रहती है।
ऊर्जा खपत कम होती है…
क्योंकि इस हीटर में थर्मल मास कम है… एवं नियंत्रण लूप भी बेहतर है। रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है… क्योंकि इसमें टिकाऊ तत्वों का उपयोग किया गया है… एवं मैकेनिकल इंटरफेस भी बेहतर है।
जानने योग्य बातें:
इस हीटर को इंस्टॉल करते समय, चक इंटरफेस को सही ढंग से मैच करना आवश्यक है… एवं पावर सप्लाई एवं कनेक्टर प्रकार की जाँच भी आवश्यक है। चेम्बर का दबाव एवं गैस प्रवाह को भी प्रक्रिया-संबंधी मानकों के अनुसार ही रखना आवश्यक है… वरना थर्मल समानता बिगड़ जाएगी। प्रक्रिया को सुचारू रूप से चलाने हेतु, थर्मल प्रोफाइल का विश्लेषण आवश्यक है… एवं उसके अनुसार ही प्रक्रिया को अमल में लाना आवश्यक है।