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PECVD चेंबर बेक प्रोफाइल में 0.5°C का ड्रिफ्ट कोई छोटी बात नहीं है। यह वेफर के पार मोटाई की असमानता, गलत तनाव और बहुत सारे स्क्रैप में दिखाई देता है। आपको ऐसा गर्मी चाहिए जो प्रक्रिया का पालन करे, न कि इसके विपरीत।
महत्वपूर्ण बातें हमने PECVD हीटिंग इन्फ्रारेड इमिटर को शॉर्ट-वेव NIR के चारों ओर बनाया है क्योंकि प्रतिक्रिया समय सेकंड में मापा जाता है, मिनट में नहीं। लक्ष्य बेक ज़ोन में ±0.1°C का वेफर-स्तरीय समानता है, और यह सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक रेसिपी के दौरान स्थिर रहता है। क्वार्ट्ज एन्वेलप और सिरेमिक बॉडी क्लास 1–100 वातावरण के लिए क्लीनरूम-कंपैटिबल हैं, और थर्मल डिज़ाइन कण उत्पादन को शून्य पर बनाए रखता है। आउटपुट पुनरावृत्ति हजारों चक्रों में 1% के भीतर रहती है, ताकि आपका थर्मल बजट नियंत्रित रहे।
यह लिथोग्राफी और PECVD में क्यों व्यवहार करता है फोटोरेसिस्ट और जमा की गई फिल्में गर्म स्थानों और ठंडे किनारों के प्रति संवेदनशील होती हैं। यह इमिटर थर्मल प्रोफाइल को केंद्र से किनारे तक स्थिर रखता है, जो लाइन-चौड़ाई में भिन्नता को कम करता है और उपज में सुधार करता है। तेज थर्मल प्रतिक्रिया चेंबर के टर्नअराउंड को कम करती है, और स्थिर उत्सर्जन व्यर्थ ऊर्जा को कम करता है। प्रक्रिया खिड़कियाँ पूर्वानुमानित रूप से तंग होती हैं, जिसमें कम पुनः-प्रमाणन और कम अप्रत्याशित डाउनटाइम होता है।
व्यावहारिक विवरण जिन्हें आप छोड़ नहीं सकते इमिटर तब प्रदर्शन करता है जब इसे सही रिफ्लेक्टर ज्यामिति और पावर सप्लाई से मिलाया जाता है। मौजूदा चेंबर फिक्स्चर और कनेक्टर्स के साथ स्पष्ट संगतता आवश्यकताओं की अपेक्षा करें, और रेट्रोफिट के दौरान संरेखण सहिष्णुता की योजना सावधानी से बनाएं। आउटपुट स्थिरता तब सबसे मजबूत होती है जब एयरफ्लो और माउंटिंग प्रेशर निर्दिष्ट खिड़की के भीतर रहते हैं, इसलिए यांत्रिक इंटरफेस को थर्मल सिस्टम का हिस्सा मानें, न कि एक बाद का विचार।