लीड-फ्री सुखाने हेतु वैक्यूम-आईआर क्यों बेहतर विकल्प है?
सेमीकंडक्टर उद्योग “हरित” एवं लीड-फ्री मानकों की ओर तेजी से बढ़ रहा है। लेकिन समस्या यह है कि पुराने प्रकार के कन्वेक्शन ओवन ऐसे मानकों को पूरा करने में असमर्थ हैं। ऐसे ओवनों में हवा को गर्म करने में बहुत समय लगता है; यह धीमी प्रक्रिया है, एवं वास्तव में यह बिजली की बर्बादी है।
इसी कारण हमने वैक्यूम-संगत इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग शुरू किया। यहाँ हवा के बजाय विकिरण का उपयोग किया जाता है… ऊर्जा सीधे वेफर/सब्सट्रेट तक पहुँच जाती है… कोई मध्यस्थ नहीं… हवा के गर्म होने का कोई इंतज़ार नहीं।
भौतिकी के नियम कैसे काम करते हैं?
वैक्यूम में तो हवा का कोई प्रवाह ही नहीं होता… ऐसे में ऊर्जा कहीं भी नहीं जा सकती। हम ऐसे हीटर बनाते हैं जो उच्च तापमान को सहन कर सकें, एवं वैक्यूम को बनाए रख सकें। शॉर्ट-वेव/मीडियम-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करके हम फोटोरेजिस्ट/एडहेसिव के अवशोषण बैंडों पर सीधे ऊर्जा भेज सकते हैं।
परिणाम? आपका वेफर कुछ ही सेकंड में गर्म हो जाता है… मिनटों में नहीं… सेकंडों में! इससे काम पूरा करने की गति बहुत बढ़ जाती है।
हार्डवेयर संबंधी विवरण
हम सामग्री के मामले में कोई समझौता नहीं करते… हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज या विशेष सिरेमिक्स का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि गैसों का निकलना बहुत ही खतरनाक है… यदि गैसें वैक्यूम में घुस जाती हैं, तो वे सिलिकॉन को दूषित कर देती हैं…
हम ऐसे फिलामेंटों का ही उपयोग करते हैं जो उच्च धारा-घनत्व को सहन कर सकें… यही एकमात्र तरीका है जिससे ऊर्जा पूरे वेफर पर समान रूप से वितरित हो सके।
लेकिन थर्मल एक्सपेंशन के मामले में सावधान रहना आवश्यक है… वैक्यूम में उच्च वाटेज पर काम करने पर ऊर्जा कहीं भी नहीं जा सकती… यह आपके कूलिंग प्लेटों एवं वैक्यूम फ्लैंजों पर बहुत दबाव डालती है… यदि आपका कूलिंग सिस्टम पर्याप्त मजबूत न हो, तो आपके उपकरण विकृत हो जाएंगे… और कोई भी ऐसा नहीं चाहेगा।
पृथ्वी एवं आपकी जेब दोनों के लिए बेहतर
इन्फ्रारेड क्यूरिंग तो बहुत ही सुरक्षित है… इसमें कोई दहन उत्पाद या VOC नहीं होते…
इसके अलावा, यह पुराने, ऊर्जा-खपत वाले तरीकों का बेहतर विकल्प है… आपको बहुत सारी जगह बच जाती है… एवं बिजली की लागत भी कम हो जाती है… क्योंकि आपको पूरे कमरे को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है… आपको तो सिर्फ उस हिस्से को ही गर्म करना है… यह तो बहुत ही कुशल, शांतिपूर्ण एवं प्रभावी तरीका है।