फैब फ्लोर पर, आपको पता ही होगा कि थोड़ा सा भी विचलन ही प्रोसेसिंग प्रक्रिया को बिगाड़ सकता है… ऐसे में फोटोरेजिस्ट में दोष पैदा हो जाते हैं। इसलिए ऐसे हीट सोर्स की आवश्यकता है, जो स्थिर रहे, न कि कोई ऐसा तत्व जिसके कारण अतिरिक्त समस्याएँ पैदा हों।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम दो-ट्यूब वाले, सोने से लेपित लैंपों का उपयोग करते हैं… ये लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं, एवं सोने से लेपित क्वार्ट्ज आवरण में ही रखे जाते हैं। इससे तेज़ एवं दिशात्मक हीटिंग होती है, एवं ऊर्जा की बर्बादी कम होती है। दो-ट्यूब वाली संरचना से ऊष्मा का वितरण समान हो जाता है… जिससे वेफर पर तापमान समान रहता है।
वास्तव में, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… एवं बैच-दर-बैच तापमान में ±0.2°C की ही विविधता रहती है। सोने की परत इन्फ्रारेड तरंगों को वापस लक्षित क्षेत्र में ही भेजती है… जिससे ऊष्मा-प्रबंधन बेहतर हो जाता है। 5,000 घंटों तक चलने के बाद भी लैंप की कार्यक्षमता स्थिर ही रहती है… एवं तीव्रता में 5% से भी कम विचलन होता है।
उत्पादन में यह क्यों उपयोगी है?
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में थोड़ी सी भी गलती बड़ी समस्याओं का कारण बन सकती है… सॉफ्ट बेक से फोटोरेजिस्ट की चिपचिपाहट एवं आसंजन-क्षमता निर्धारित होती है… जबकि हार्ड बेक से छवि पूरी तरह तैयार हो जाती है। ये लैंप 150 मिमी से 300 मिमी तक की लाइथोग्राफी प्रक्रियाओं में उपयोग में आते हैं… एवं क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकते हैं… इनसे कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता।
इससे CD नियंत्रण बेहतर हो जाता है… रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। ऊष्मा ठीक वहीं जाती है, जहाँ आवश्यक है… इससे ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती। ये लैंप 24/7 चल सकते हैं… इससे कोई आश्चर्य नहीं होता… एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान देना आवश्यक है?
स्थापना के दौरान सटीक ऑप्टिकल अलाइनमेंट एवं स्वच्छ, कंपन-रहित फिक्सचर आवश्यक है… अगर थोड़ा सा भी विचलन हो जाए, तो तापमान-नियंत्रण प्रभावित हो जाता है।
ये लैंप उच्च तीव्रता पर काम करते हैं… इसलिए सब्सट्रेट होल्डर के थर्मल मैनेजमेंट एवं शटर टाइमिंग को भी उचित रखना आवश्यक है। स्थापना से पहले वोल्टेज एवं कनेक्टर की संगतता की जाँच अवश्य करें। जब सब कुछ सही हो जाता है, तो हर दिन, हर बैच में एक ही तरह का परिणाम प्राप्त होता है।