Mengapa Pemanasan dengan Sinar Infra Merah Lebih Unggul daripada Penggunaan Udara Panas untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika Anda masih menggunakan udara panas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS, berarti Anda membuang-buang waktu yang banyak hanya untuk menunggu proses pengeringan selesai. Ini merupakan hambatan besar dalam proses produksi.
Proses pemanasan menggunakan udara panas bergantung pada mekanisme konveksi. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, lalu udara tersebut yang akan memanaskan wafer. Proses ini membutuhkan waktu yang lama.
Sebaliknya, pemanasan dengan sinar infra merah berbeda. Sinar inframerah digunakan untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung, tanpa perlu melalui udara sebagai perantara. Dengan cara ini, waktu pengeringan bisa diperpendek dari beberapa menit menjadi hanya beberapa detik saja. Hal ini sangat menguntungkan jika Anda memiliki proses produksi dengan kapasitas tinggi. Anda dapat menghasilkan lebih banyak wafer per jam, tanpa perlu membangun ruang bersih yang lebih besar.
Namun, Anda tidak bisa sekadar memasukkan lampu inframerah ke dalam oven konvektif lama dan menganggapnya sudah cukup. Untuk mendapatkan kecepatan pengeringan yang tinggi, diperlukan intensitas cahaya yang tinggi. Kita biasanya menggunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek, karena cahaya ini mampu menembus lapisan cairan di permukaan wafer dengan cepat. Namun, intensitas cahaya yang tinggi ini bisa merusak struktur wafer jika tidak dikendalikan dengan baik. Anda memerlukan perlindungan yang tepat serta reflektor yang efektif agar cahaya tersebut tidak merusak wafer.
Selain itu, aspek kontrol juga penting. Lampu inframerah mampu mencapai suhu targetnya dalam waktu singkat. Jika kontroler PID yang digunakan tidak efisien, suhu wafer bisa melebihi batas yang ditentukan, sehingga merusak struktur MEMS. Anda memerlukan sistem kontrol yang mampu mengikuti kecepatan pemanasan yang tinggi ini.
Kami biasanya merekomendasikan penggunaan reflektor kuarz yang presisi untuk memfokuskan energi cahaya tersebut. Memang, memasang sistem pemanasan inframerah membutuhkan persiapan yang lebih rumit dibandingkan hanya memasang komponen pemanas biasa. Namun, dengan menghemat waktu produksi yang signifikan, biaya investasi untuk perangkat ini biasanya akan terbayar dalam beberapa bulan saja.