Mengapa Pengeringan dengan Sinar Infra Merah dalam Lingkungan Vakum Adalah Pilihan Terbaik untuk Proses Pengeringan Tanpa Timbal
Dunia semikonduktor terus berupaya mengadopsi standar “hijau” dan bebas timbal. Namun, masalahnya adalah oven konvensional yang digunakan saat ini tidak mampu memenuhi tuntutan tersebut. Oven tersebut membutuhkan waktu yang lama untuk memanaskan udara, sehingga prosesnya lambat, dan tentu saja merupakan pemborosan energi.
Itulah sebabnya kita beralih ke pemanas inframerah yang dapat beroperasi dalam kondisi vakum. Alih-alih menggunakan udara untuk mendistribusikan panas, pemanas inframerah menggunakan radiasi. Energi panas langsung menuju ke wafer atau substrat, tanpa perlu melalui udara. Tidak perlu menunggu udara menjadi panas terlebih dahulu.
Bagaimana Prinsip Kerjanya
Bayangkan saja: dalam kondisi vakum, tidak ada aliran udara yang bisa digunakan untuk mendistribusikan panas. Ini merupakan “zona mati”. Kita merancang pemanas yang mampu bertahan pada suhu tinggi sambil mempertahankan kondisi vakum yang ketat. Dengan menggunakan pemancar inframerah berfrekuensi pendek atau sedang, kita dapat mencapai band penyerapan energi yang tepat pada bahan fotoresist atau perekat yang digunakan.
Hasilnya? Komponen tersebut dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam hitungan detik, bukan menit. Hal ini sangat meningkatkan kecepatan proses pengeringan.
Detail Teknis Perangkatnya
Kami tidak berkompromi soal kualitas bahan yang digunakan. Kami menggunakan kuarsa berkualitas tinggi atau keramik khusus untuk pembungkus pemanas, karena “pengeluaran gas” merupakan masalah besar. Jika gas masuk ke dalam kondisi vakum, gas tersebut akan mencemari silikon dan merusak seluruh produk yang diproses.
Kami juga memilih filamen yang mampu menahan arus listrik yang tinggi. Itulah satu-satunya cara untuk memastikan panas didistribusikan secara merata ke seluruh permukaan wafer.
Namun, perlu hati-hati terhadap efek ekspansi termal. Saat pemanas bekerja pada kekuatan maksimal dalam kondisi vakum, panas tersebut tidak memiliki tempat untuk pergi—panas tersebut tidak akan hilang ke udara. Hal ini akan memberikan tekanan besar pada pelat pendingin dan komponen lainnya. Jika sistem pendinginan tidak cukup kuat untuk menangani panas tersebut, maka komponen tersebut akan rusak. Dan tentu saja, hal ini tidak diinginkan oleh siapa pun.
Lebih Baik untuk Planet (dan Kantong Anda)
Pengeringan dengan sinar infra merah jauh lebih baik. Tidak ada produk sampingan hasil pembakaran atau VOC yang tersebar di udara. Selain itu, cara ini merupakan pengganti yang sempurna untuk teknologi pengeringan konvensional yang membutuhkan banyak energi. Anda dapat menghemat banyak ruang, dan tagihan listrik pun berkurang, karena Anda hanya perlu memanaskan bagian yang perlu diproses saja. Cara ini efisien, tenang, dan efektif.