Di fasilitas produksi, Anda tahu betul aturannya: sedikit saja penyimpangan sebesar setengah derajat selama proses pemanasan akan mengacaukan kontrol dimensi yang penting, sehingga menimbulkan cacat pada lapisan fotoresist. Anda membutuhkan sumber panas yang bersifat konstan, bukan sumber panas yang berubah-ubah.
Yang penting secara teknis Kami menggunakan lampu berbentuk tabung ganda yang dilapisi emas, yang menggunakan sinar inframerah gelombang pendek. Lampu ini ditempatkan dalam wadah kuarsa yang juga dilapisi emas. Dengan demikian, pemanasan berlangsung secara cepat dan terarah, dengan kehilangan energi melalui radiasi yang minimal. Desain tabung ganda ini membantu meratakan distribusi panas, sehingga mengurangi adanya titik panas dan meningkatkan keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer.
Secara praktis, suhu wafer dapat dikontrol hingga ±0,1°C selama proses pemanasan, dan tingkat repetibilitasnya mencapai ±0,2°C dari satu batch ke batch berikutnya. Lapisan emas pada lampu tersebut memantulkan sinar inframerah kembali ke area yang dituju, sehingga membantu menjaga profil termal yang stabil dan mengurangi penggunaan energi. Setelah 5.000 jam penggunaan, intensitas cahaya tetap stabil, dengan penyimpangan kurang dari 5%.
Mengapa hal ini efektif dalam produksi Proses pemrosesan fotoresist membutuhkan ketepatan yang sangat tinggi. Proses pemanasan ringan digunakan untuk menetapkan viskositas dan daya lekat lapisan fotoresist, sedangkan proses pemanasan intensif digunakan untuk mengeringkan lapisan fotoresist dan mempersiapkannya untuk proses etching. Lampu ini cocok digunakan untuk proses litografi dengan rentang panjang gelombang 150 mm hingga 300 mm. Lampu ini juga aman digunakan di ruang bersih kelas 1 hingga kelas 100, karena tidak menghasilkan partikel apa pun saat beroperasi.
Dengan demikian, kontrol dimensi menjadi lebih baik, jumlah produk yang perlu diperbaiki berkurang, dan limbah pun berkurang. Panas dialirkan ke tempat yang diperlukan, sehingga energi tidak terbuang sia-sia. Selain itu, lampu ini dapat beroperasi 24/7 tanpa masalah, sehingga meminimalkan risiko kerusakan dan memudahkan proses perawatan.
Apa yang perlu diperhatikan saat pemasangan Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian optik yang tepat serta penggunaan alat yang bebas getaran. Ketidaksesuaian posisi sebesar beberapa milimeter saja sudah cukup untuk mengganggu keseragaman suhu.
Lampu ini beroperasi pada intensitas cahaya yang tinggi, jadi sistem manajemen suhu substrat dan waktu pengoperasian lampu harus disesuaikan dengan spesifikasi yang ditentukan. Sebelum memasang lampu ini, pastikan tegangan dan konektor yang digunakan sesuai dengan spesifikasi perangkat yang digunakan. Jika semuanya disesuaikan dengan benar, maka profil pemanasan akan tetap konsisten, hari demi hari, batch demi batch.