洗浄浴槽から出てきたウェーハにはDI水の膜が付着している。乾燥炉はフォトレジストを焼き切ることなく、また粒子を飛散させることなく、その水分を除去しなければならない。タイマーがずれると滞留時間が変動し、それが生産ライン上で歩留まりの低下として現れる。そこで、ウェーハ乾燥炉用にプロセスの信頼性を維持するタイマーを開発した。
技術的に必要な機能
このタイマーは半導体熱工程用の装置である。タイミング精度は0.1%、繰返し精度は±10 msを達成している。24 VDC電源とPLCインターロックに対応し、炉制御ループに直接接続可能。IP54相当の防塵防水性能を備え、洗浄エリアの湿潤かつ化学物質濃度の高い環境に耐える。クリーンルーム適合の構造と低アウトガス材料を用い、経過時間とサイクル完了の表示を備えるため、状況の判断に迷いがない。インターフェースは意図的にシンプルに設計されており、設定・開始・確認の3操作で完結する。
乾燥工程における重要性
ウェーハ乾燥は厳密な熱管理が求められる。サイクルが短すぎると水跡が残り、長すぎるとフォトレジストの再流動や次の塗布・焼成工程でのエッジビード問題を引き起こす。タイマーによりオペレーターの変動要因を排除し、ロットごとに同一サイクルを維持可能とする。結果として、均一な乾燥状態が得られ、再加工率が低減し、粒子数もシフト間で安定する。また、工程能力管理（SPC）用のサイクルタイム記録も正確に行えるため、ラインに余計なノイズを加えない。
設置にあたっての注意点
設置は炉の制御電圧およびインターロック論理との整合が基本となる。配線図と較正オフセットを提供し、タイマーのタイムウィンドウを炉の立ち上げおよび保持時間に合わせて調整する。メンテナンス時間帯に15分程度の統合動作確認を計画すること。
耐久性はあるものの、温度制御の代替にはならない。検証済みの炉内温度均一性管理計画と組み合わせて使用することが前提である。