Applied Materials装置用赤外線ランプ

ファブフロアでは、熱ドリフトはサイレンや停止として現れるわけではない。重要寸法がズレたり、エッジビードが薄くなったり、歩留まりの低下が数時間かけて原因追跡される形で現れる。Applied Materialsの装置において、ヒーターは変動要因であってはならず、プロセスが依存できる一定の存在でなければ...