MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

なぜMEMSウェーハの乾燥にはIR加熱がホットエアより優れているのか もしまだMEMSセンサーのウェーハを乾燥させるためにホットエアを使用しているなら、単に待つだけで多くの時間を浪費していることになります。これは大きなボトルネックです。 ホットエアは対流に頼っています。まず空気を加熱し、その後その...