왜 진공 적외선 경화가 무연 건조에 최적의 방법인가?
반도체 산업은 “친환경적이고 무연인” 기준을 향해 빠르게 발전하고 있습니다. 하지만 문제는, 기존의 대류식 오븐들은 이러한 요구사항을 충족시킬 수 없다는 것입니다. 공기를 가열하는 데 너무 많은 시간이 소요되며, 이는 비효율적이고 전력 낭비에 해당합니다.
그래서 우리는 진공 환경에서도 사용할 수 있는 적외선 히터를 사용하기로 했습니다. 공기를 이용해 열을 전달하는 대신, 적외선은 방사능을 이용하여 에너지를 웨이퍼나 기판에 직접 전달합니다. 중재자가 필요 없으며, 공기가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요도 없습니다.
물리적 원리는 어떻게 작동할까?
진공 상태에서는 공기의 흐름이 없으므로 열이 퍼져나갈 곳이 없습니다. 그래서 우리는 높은 온도를 견딜 수 있도록 히터를 설계했습니다. 단파나 중파 적외선을 사용함으로써, 포토레지스트나 접착제가 흡수하는 파장대를 정확하게 타격할 수 있습니다. 그 결과, 부품이 몇 분이 아닌 몇 초 만에 원하는 온도에 도달합니다.
하드웨어의 구체적인 사양
우리는 재료 선택에 있어서 결코 타협하지 않습니다. 고순도 석영이나 특수 세라믹을 사용하여 히터를 제작합니다. 왜냐하면 가스가 진공 상태로 유입되면 실리콘이 오염되어 전체 제품의 품질이 떨어지기 때문입니다. 또한, 고전류 밀도를 견딜 수 있는 필라멘트를 사용하여 전체 웨이퍼에 균일하게 열이 전달되도록 합니다.
하지만 열팽창 문제도 주의해야 합니다. 진공 상태에서 최대 출력으로 작동할 때, 열은 공기 중으로 사라지지 않고 히터 내부에 남아 있습니다. 이로 인해 냉각판과 진공 연결부에 큰 압력이 가해집니다. 만약 냉각 시스템이 충분히 강력하지 않다면, 히터가 변형될 수 있습니다. 이는 결코 원하는 결과가 아닙니다.
지구와 당신의 지갑에 좋은 방법
적외선 경화 방식은 훨씬 더 깨끗합니다. 연소로 인한 부산물이나 VOC가 공기 중에 남지 않습니다. 게다가, 오래된 에너지 소모가 많은 방식과 비교했을 때 훨씬 효율적입니다. 공간도 절약될 뿐만 아니라, 전력 비용도 줄어듭니다. 왜냐하면 방 전체를 가열하는 대신, 오직 필요한 부분만을 가열하기 때문입니다. 효율적이고 조용하며, 신뢰성도 뛰어납니다.