팹에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하거나 웨이퍼를 건조할 때 온도가 1°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그래서 웨이퍼 처리 장비에 장착된 적외선 램프는 열 관리의 불확실성을 없애도록 설계되었습니다. 중요한 요소들 저희...

공장 현장에서는 열 변동이 경고음이나 작업 중단으로 바로 나타나지 않는다. 치수의 변동, 모서리 비드의 얇아짐, 또는 몇 시간에 걸쳐 원인을 추적해야 하는 수율 저하로 나타난다. Applied Materials 장비에서는 히터가 또 다른 변수일 수 없으며, 공정이 의...