Di bahagian litografi, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sekadar langkah pemanasan awal. Ia merupakan proses pemanasan yang penting untuk memastikan kualiti produk yang dihasilkan. Jika suhu semasa proses pemanasan berubah walaupun sebanyak satu atau dua darjah, maka toleransi dimensi komponen akan terjejas. Jika ada partikel yang terbentuk semasa proses ini, seluruh produk tersebut akan rosak. Oleh itu, diperlukan sumber haba inframerah yang mampu memberikan suhu yang konsisten – tanpa perlu membuat anggaran secara manual.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan lampu inframerah yang menggunakan unsur kuarsa berkelajuan tinggi untuk memanaskan bahan fotoresist. Sistem ini direka agar suhu permukaan wafer tetap konsisten pada tahap ±0.1°C, supaya setiap komponen mendapat suhu yang sama. Sistem ini juga sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana ia menggunakan bahan-bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, serta reka bentuk yang dapat mengurangkan pembentukan partikel. Tiada pembentukan partikel sama sekali – ini dicapai melalui penggunaan bahan-bahan yang terkawal dan laluan haba yang tertutup. Lampu ini beroperasi 24/7 tanpa henti, dan prestasinya tetap konsisten walaupun selepas 5,000 jam penggunaan.
Mengapa ia berkesan
Lampu ini memanaskan bahan fotoresist dengan cepat, lalu mengekalkan suhu tersebut. Hasilnya, proses produksi menjadi lebih konsisten, dan jumlah bahan buangan berkurangan. Kekonsistenan suhu yang tinggi membantu mengurangkan kecacatan di bahagian tepi wafer. Selain itu, masa pemanasan yang singkat membolehkan proses berjalan lebih cepat tanpa kehilangan kawalan terhadap suhu. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu ini hanya panas apabila diperlukan, dan ia segera sejuk semula. Ini bermakna kurangnya keperluan untuk menukar lampu, sekali gus mengurangkan gangguan semasa penyelenggaraan.
Apa yang perlu diketahui terlebih dahulu
Semasa pemasangan, perlu pastikan geometri reflektor dan bukaan lampu sesuai dengan oven yang digunakan. Lampu ini perlu disambungkan ke sistem kawalan suhu oven. Sebelum memasangnya, pastikan voltan dan soket lampu serasi dengan antaramuka OEM. Harapkan sedikit masa untuk sistem mencapai suhu yang stabil setelah dimulakan. Aturlah jadual pemanasan dengan mengambil kira perkara ini, agar proses produksi tetap berjalan dalam julat yang ditetapkan.