Mengapa pengeringan menggunakan sinar inframerah vakum merupakan pendekatan yang terbaik untuk proses pengeringan tanpa plumbum
Dunia semikonduktor sedang berusaha keras untuk mencapai standard “hijau” dan bebas plumbum. Namun, masalahnya ialah ketuhar konvensional lama tidak mampu memenuhi keperluan ini. Ketuhar tersebut memerlukan masa yang lama untuk memanaskan udara, dan ini merupakan pembaziran tenaga.
Oleh itu, kita beralih kepada pemanas inframerah yang sesuai digunakan dalam keadaan vakum. Daripada bergantung pada udara untuk menghantar haba, pemanas inframerah menggunakan radiasi. Tenaga tersebut sampai terus ke wafer atau substrat tanpa perlu melalui udara. Tidak perlu menunggu udara menjadi panas.
Bagaimana prinsip fiziknya berfungsi
Fikirkanlah: dalam keadaan vakum, tiada aliran udara yang boleh menghantar haba. Ia merupakan kawasan yang “mati”. Kita membina pemanas yang mampu menahan suhu tinggi sambil memastikan vakum tetap terjaga. Dengan menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek atau sederhana, kita dapat menyasarkan kawasan yang tepat pada bahan fotorezist atau bahan perekat tersebut.
Hasilnya? Komponen tersebut akan mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Bukan minit, tetapi saat. Ini benar-benar mengubah kelajuan proses pengeringan.
Butiran berkaitan komponen peralatan
Kita tidak berkompromi dari segi bahan yang digunakan. Kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi atau seramik khas untuk pembungkus pemanas tersebut, kerana pelepasan gas merupakan masalah besar. Jika gas masuk ke dalam keadaan vakum, ia akan merosakkan silikon dan merosakkan keseluruhan proses penghasilan.
Kita juga memilih filamen yang mampu menanggung intensiti arus yang tinggi. Itulah cara untuk memastikan haba tersebar secara merata di seluruh wafer. Namun, perlu berhati-hati dengan masalah pengembangan termal. Apabila menggunakan kuasa maksimum dalam keadaan vakum, haba tersebut tidak akan hilang begitu saja ke udara. Ia akan memberi tekanan yang besar pada plat penyejuk dan komponen vakum. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, komponen tersebut akan rosak. Dan tentunya, tiada siapa yang ingin hal tersebut berlaku.
Lebih baik untuk planet (dan poket anda)
Pengeringan menggunakan sinar inframerah merupakan kaedah yang lebih bersih. Tiada bahan buangan hasil pembakaran atau VOC yang terhasil. Selain itu, ia merupakan alternatif yang lebih baik daripada kaedah pengeringan lama yang memerlukan banyak tenaga. Anda dapat menjimatkan ruang dan bil elektrik, kerana hanya bahagian yang perlu dipanaskan sahaja yang dipanaskan. Ia efisien, senyap, dan berkesan.