Keluar dari mandian pembersihan, wafer datang dengan lapisan air DI. Oven pengering perlu menanggalkan kelembapan itu tanpa memasak fotoresist atau mengeluarkan partikel. Jika pemasa meleset, masa tinggal menyimpang—dan itu akan menunjukkan kebocoran hasil di barisan. Oleh itu, kami membina pemasa untuk oven pengering wafer yang memastikan proses itu telus.
Apa yang perlu dilakukan, dari segi teknikal
Pemasa ini ditujukan untuk peralatan thermal semikonduktor. Ketepatan masa mencapai 0.1%, dan kebolehulangan adalah ±10 ms. Ia disambungkan terus ke gelung kawalan oven, dengan 24 VDC dan interlock PLC, dan ia mempunyai penarafan IP54 untuk udara yang lembap dan berat kimia di sekitar kawasan pembersihan. Pembinaan yang serasi dengan bilik bersih, bahan rendah gas yang keluar, dan paparan yang menunjukkan masa yang telah berlalu dan kitaran lengkap—tanpa tekaan. Antara muka tetap sengaja bersih: tetapkan, mula, sahkan.
Mengapa ini penting pada langkah pengeringan
Pengeringan wafer bergantung kepada bajet thermal yang ketat. Jika kitaran terlalu pendek, anda akan mendapat tanda air. Terlalu lama, dan anda berisiko mengalami reflow fotoresist, atau anda akan menghadapi masalah edge bead selepas lapisan/bakar seterusnya. Pemasa ini mengeluarkan pembolehubah pengendali dari situ dan mengunci dalam kitaran yang sama, lot demi lot.
Anda akan mendapat kekeringan yang konsisten, kurang kerja semula, dan pengiraan partikel yang tidak beralih dari satu shift ke shift yang lain. Ia juga memastikan dokumen tetap teratur, merekodkan masa kitaran untuk SPC tanpa menambah bunyi kepada barisan.
Apa yang perlu anda tahu untuk pemasangan
Pemasangan bergantung kepada padanan voltan kawalan oven dan logik interlock. Kami menyediakan rajah pendawaian dan offset kalibrasi supaya tetingkap pemasa sejajar dengan ramp dan soak oven. Jadwalkan pemeriksaan integrasi 15 minit semasa waktu penyelenggaraan.
Pemasa ini tahan lama, tetapi ia bukan pengganti untuk kawalan suhu. Pasangkan ia dengan pelan keseragaman thermal oven yang disahkan, dan anda sudah siap.