Di fasiliti pengeluaran, anda tahu betapa pentingnya kawalan suhu yang tepat semasa proses pembakaran. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi yang diperlukan, dan ini akan menyebabkan masalah pada bahan fotoresist yang digunakan. Oleh itu, diperlukan sumber haba yang stabil, bukannya sumber haba yang berubah-ubah.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan Lampu berlubang ganda yang dilapisi emas, yang menggunakan gelombang inframerah pendek. Lampu ini diletakkan dalam kotak kuarsa yang juga dilapisi emas. Hasilnya ialah pemanasan yang cepat dan terarah, dengan kehilangan tenaga yang minimum. Reka bentuk lampu berlubang ganda ini membantu meratakan beban pemanasan, sekali gus mengurangkan kawasan panas dan meningkatkan keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer.
Secara praktikalnya, suhu wafer dapat dikawal dengan tepat pada tahap ±0.1°C semasa proses pembakaran lembut dan keras. Selain itu, ketepatan tetapan suhu juga dapat dicapai pada tahap ±0.2°C antara satu batch dengan batch yang lain. Lapisan emas pada lampu ini memantulkan gelombang inframerah kembali ke kawasan yang dituju, sekaligus memastikan profil suhu yang stabil dan mengurangkan penggunaan tenaga. Selepas 5,000 jam operasi, prestasi lampu masih stabil, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%.
Mengapa ia sesuai untuk pengeluaran
Proses pemprosesan fotoresist memerlukan kawalan suhu yang sangat tepat. Proses pembakaran lembut bertujuan untuk menetapkan viskositi dan daya melekat bahan fotoresist, manakala proses pembakaran keras pula bertujuan untuk mematangkan imej yang terbentuk dan menyediakan permukaan wafer untuk proses etching. Lampu ini sesuai digunakan untuk proses litografi pada jarak antara 150 mm hingga 300 mm. Ia juga sesuai digunakan dalam lingkungan bilik bersih dari kelas 1 hingga kelas 100, tanpa menghasilkan sebarang zarah debu semasa beroperasi.
Dengan cara ini, kawalan dimensi wafer dapat dilakukan dengan lebih baik, jumlah barang yang perlu dibuat semula berkurangan, dan sisa bahan juga berkurangan. Tenaga haba disalurkan ke tempat yang diperlukan, jadi tidak ada pembaziran tenaga. Selain itu, lampu ini dapat beroperasi secara stabil 24/7, sehingga mengurangkan masalah yang mungkin timbul dan memudahkan kerja penyelenggaraan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian optik yang tepat serta penggunaan alat yang bebas daripada getaran. Jika terdapat kesalahan penyesuaian sebanyak beberapa milimeter sahaja, keseragaman suhu akan terjejas.
Lampu ini beroperasi pada intensiti cahaya yang tinggi, jadi sistem pengurusan suhu pada substrat dan masa operasi lampu perlu disesuaikan dengan tepat. Sebelum memasang lampu ini, pastikan voltan dan kompatibiliti konektor sesuai dengan sistem yang digunakan. Apabila semuanya disesuaikan dengan tepat, hasil pembakaran akan menjadi konsisten, hari demi hari, batch demi batch.