Op de productielijn kan één enkele waterdruppel al veel schade veroorzaken na de lithografische behandeling. Bij conventionele droogmethoden varieert de temperatuur, en deeltjes komen van de hete oppervlakken terecht in het filmpje dat wordt gebruikt. We hebben drooglampen met gedemineraliseerd water ontworpen om deze variabiliteit te voorkomen. Kortegolf-infrarood licht bereikt snel het waterfilmpje, waardoor de oppervlakte wordt opgewarmd zonder dat dit schadelijk is voor het fotoresistentmateriaal. Hierdoor worden de wafers schoon gedroogd, en blijven de temperatuurwaarden binnen beperkte grenzen.
Wat er belangrijk is Kortegolf-infrarood licht dringt snel door het waterfilmpje heen. De kwartsomhulling en de reflectoren zorgen ervoor dat de hitte precies op de juiste plek terechtkomt. Hierdoor wordt er een uniformiteit van ±0,1°C behaald, en kan de temperatuur nauwkeurig worden geregeld. Het systeem kan worden gebruikt in cleanrooms van klasse 1–100. In de verhitte zone worden geen deeltjes gegenereerd, waardoor het fotoresistentmateriaal niet wordt besmet. De vermogensdichtheid is zo ingesteld dat de verdamping optimaal verloopt, zonder dat de thermische limieten van het fotoresistentmateriaal worden overschreden. De uitgangssnelheid van de lamp blijft dag en nacht constant. We hebben apparaten gezien die meer dan 5.000 uur lang functioneerden, met minder dan 5% daling in prestaties.
Waarom het nuttig is in de productie De lamp vervangt langzame convectiestappen en hete platen. Hierdoor drogen de wafers sneller, en blijft de contacthoek constant. De eigenschappen van het fotoresistentmateriaal blijven stabiel van batch tot batch. Dit leidt tot minder herwerkzaamheden, minder afval en betere controle over de kritieke dimensies. De energieverbruik neemt af, omdat alleen het water en de wafers worden verhit, en niet de lucht eromheen. De vervangingsintervallen worden langer, en de onderhoudstijden korter, dankzij een ontwerp dat beweegt onderdelen en zware thermische massa’s vermijdt.
Wat er in de gaten moet worden gehouden Bij de installatie moet de lamp worden aangepast aan de openingen van het apparaat, de stroomvoorziening en het koelsysteem. Controleer of de spanning en de connectors compatibel zijn, en zorg ervoor dat de thermische eigenschappen van de lamp overeenkomen met de vereisten. De lamp presteert het beste wanneer de chemische samenstelling van het wafeloppervlak onder controle is. Sporen van oppervlakteschoonmaakmiddelen kunnen de droogingsproces beïnvloeden, dus moet dit goed worden geregeld.