Hoe omgaan met hitte en vluchtige stoffen bij het verwarmen van wafers
Wanneer je wafers verwarmt in een apparatuur voor chemische reiniging, gaat het niet alleen om het bereiken van een bepaalde temperatuur. Je moet ook rekening houden met risico’s.
Eerlijk gezegd zijn veel van deze reinigingsmiddelen brandbaar. Sommige zijn zelfs explosief. Als je een open infraroodlamp recht naast die dampen plaatst, creëer je een grote brandgevaar. Daarom hebben we besloten om geen open infraroodlampen meer te gebruiken, maar systeem waarbij de lampen in een afgesloten behuizing zitten. Dat is veel veiliger.
De veiligheidsafstand
De veiligheidsafstand is geen willekeurig getal. Het is de afstand die nodig is zodat de omringende onderdelen – en niet alleen de lamp zelf – koel blijven, zodat de chemische stoffen niet kunnen ontbranden. We bepalen deze afstand door te kijken naar de vermogen van de lamp en hoe goed de behuizing de hitte kan afvoeren.
Het probleem is dat als de lamp te dicht bij de wafer of de wand van de kamer wordt geplaatst, er veel hitte ontstaat. Dan worden de vluchtige stoffen een groot gevaar. Er moet genoeg ruimte zijn voor luchtcirculatie of actieve koeling, zodat de hitte kan worden weggehaald voordat er problemen ontstaan.
Waarom we alles afsluiten
We laten de kwartsbuizen niet zomaar buiten staan. Onze lampen zitten in een afgesloten, chemisch bestendige behuizing. Denk erbij aan een fysieke barrière tussen de verwarmer en de gevaarlijke stoffen in de lucht. We gebruiken hoogwaardige afsluitingen, want als er een reinigingsmiddel in de behuizing terechtkomt, is dat een groot probleem. Dan kan de kwartsbuis breken of kan er een elektrische kortsluiting optreden. Dat is zeker geen prettige situatie.
Het compromis
Er is echter een nadeel: door een barrière tussen de infraroodbron en de wafer te plaatsen, gaan er wat stralingseenheden verloren. Het is niet veel, maar het is er wel. Om dit te compenseren, moet je misschien het vermogen van de lamp verhogen of de wafer langer laten verwarmen tot de gewenste temperatuur is bereikt. Zorg er wel voor dat je stroomvoorziening het extra vermogen aankan. Het is een kleine prijs die je moet betalen om niet bang te hoeven zijn dat je laboratorium in vlammen opgaat.