Stop de scherven: ontwerp IR-lampen die je wafers niet beschadigen
In een fabriek met hoge belastingen is het een nachtmerrie wanneer een infraroodlamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand die dat met zich meebrengt – hoewel dat al vreselijk genoeg is – maar ook om de vervuiling die optreedt. Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, komen er glasscherven en andere deeltjes op de wafers terecht. Dat is een compleet debacle.
We ontwerpen onze IR-lampen zodat dit niet gebeurt.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens die voortdurend worden gebruikt, staan onder veel druk. Ze zetten zich steeds op en neer. Om dit te voorkomen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal is sterk en kan veel hebben zonder te breken.
We besteden ook veel tijd aan het bereiken van de juiste wanddikte van de buis. Te dun, en de buis breekt. Te dik, en de hitte kan niet goed worden afgevoerd.
Het trucje is om niet te veel vermogen in een korte buis te stoppen. Hierdoor worden de aansluitingen minder onder druk gezet. We plaatsen de filamenten zorgvuldig en stellen de spanning in zodat er geen ‘ hete punten’ ontstaan die de buis eerder kunnen doen barsten.
Voorkomen dat er schade ontstaat
We rekenen niet alleen op het beste. We gebruiken sterke aansluitingen en speciale coatingen om schade te voorkomen.
Als het filament kapotgaat, zorgt het ontwerp ervoor dat de buis niet explodeert of uiteenbarst. Bovendien gebruiken we nauwkeurig passende connectoren. Waarom? Omdat elektrische spanningen aan de aansluitingen een groot probleem zijn in vochtige omgebindingen. Dat is vaak de oorzaak dat de buis kapotgaat.
De echte compromissen
Eerlijk gezegd: niets is onverwoestbaar.
Om een hoge intensiteit aan infraroodstraling te krijgen, heb je intense hitte nodig. Dit zorgt voor veel druk op de vacuümaansluitingen en koelmiddelen. Als de koeling niet goed werkt, wordt de lucht rondom de lamp te heet. Uiteindelijk zal deze hitte de aansluitingen beschadigen.
Het geheim ligt in evenwicht. Je hebt voldoende luchtcirculatie nodig om de uiteinden van de lamp koel te houden, terwijl het midden van de buis de gewenste temperatuur bereikt. Als dit goed lukt, blijft het kwartsmateriaal stabiel. En belangrijker nog: blijven je wafers schoon.