Na linii produkcyjnej niestabilność temperatury podczas procesu suszenia płytek krzemowych nie jest tylko abstrakcyjnym problemem – skutkuje ona rzeczywistymi wadami produktów i spadkiem ich jakości. Gdy piec lub płoza grzewcza nie są w stanie utrzymać temperatury w wymaganym zakresie, kontrola szerokości warstwy na płytkach staje się trudna, spada przyczepność elementów składowych płytki, a liczba cząstek wzrasta. Nasze elementy grzewcze działające na zasadzie promieniowania infraczerwonego pomagają eliminować te problemy, ponieważ w produkcji półprzewodników budżet cieplny jest ograniczony, więc jedynym akceptowalnym parametrem jest powtarzalność procesu.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Nasze elementy grzewcze zapewniają jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, dzięki czemu profile suszenia pozostają stabilne. Reakcja elementów grzewczych jest szybka, co pomaga utrzymać temperaturę w normie, nawet gdy otwiera się pokrywa pieca lub zmienia się partia produktów. Dzięki temu nie powstają żadne cząsteczki, a urządzenie nadaje się do używania w środowiskach klasy 1–100. Wydajność elementów grzewczych pozostaje stała przez ponad 5 000 godzin, z odchyleniem poniżej 5%, więc można planować konserwację z wyprzedzeniem, zamiast radzić sobie z niespodziewanymi przerwami w produkcji.
Dlaczego to działa w technologii litografii i suszenia? W procesie litografii proces suszenia wpływa na parowanie rozpuszczalników oraz na naprężenia w warstwie chemicznej na płytkach krzemowych; nawet niewielkie odchylenia temperatury mogą wpłynąć na właściwości płytek. W przypadku suszenia płytek nadmiar wilgoci może doprowadzić do powstawania mikropontów i zanieczyszczeń. Nasze rozwiązanie adresuje te problemy, poprawiając powtarzalność procesu z partii na partię. Dzięki temu uzyskuje się lepszą kontrolę nad wymiarami płytek, mniej prac korygujących oraz mniejsze zużycie energii na jedną płytkę – energia jest bowiem skierowana bezpośrednio na substrat, a nie na ogrzewanie komory.
Co należy uwzględnić podczas instalacji? Podczas instalacji należy dostosować długość fali emitera oraz gęstość mocy do geometrii reflektora w urządzeniu oraz do informacji uzyskiwanych z czujników temperatury. Podłączenie urządzenia do istniejącego wyposażenia jest proste, ale strategia sterowania musi być dostosowana – kontrola intensywności światła w trybie otwartym nie może zastąpić kontroli temperatury w trybie zamkniętym. Należy zaplanować krótki okres testowania, aby dostosować ustawienia i sprawdzić jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki przed rozpoczęciem pełnej produkcji.