На производственном участке один лишний капля воды может нанести серьезный ущерб продукту после процедуры литографии. Обычные методы сушки приводят к колебаниям температуры, а частицы с горячих поверхностей попадают прямо на пленку. Мы разработали лампы для сушки деионизированной воды, которые предотвращают такие отклонения. Коротковолновое инфракрасное излучение быстро нагревает слой воды, не вызывая перегрева самой пленки. Это позволяет чисто высушивать пластины, а также сохранять стабильные условия температуры во время процедуры обработки фотопленки.
Что важно при работе системы
Коротковолновое инфракрасное излучение быстро проникает сквозь слой воды. Геометрия кварцевого корпуса и отражателя обеспечивает правильное распределение тепла. Таким образом достигается однородность температуры на всей поверхности пластины с точностью до ±0,1°C. Система может работать в чистых помещениях класса 1–100. В зоне нагрева не образуется частиц, а также нет выделения газов, которые могли бы загрязнить фотопленку. Плотность мощности регулируется так, чтобы обеспечить эвапорацию воды без превышения температурных ограничений фотопленки. Выход мощности лампы остается стабильным круглосуточно; мы видели, что лампы могут работать более 5 000 часов с потерей мощности менее 5%.
Почему это важно в производстве
Благодаря использованию этой лампы можно заменить более медленные методы сушки и использование горячих плат. Пластины сохнут быстрее, а угол контакта остается стабильным. Профили фотопленки остаются стабильными при каждой процедуре обработки. Это способствует сокращению количества переработок, уменьшению количества брака и обеспечению стабильного контроля за критическими размерами. Энергопотребление снижается, поскольку нагревается только вода и пластина, а не воздух вокруг них. Сроки замены лампы увеличиваются, а время на техническое обслуживание сокращается благодаря конструкции, не содержащей движущихся частей и больших объемов теплоемкости.
На что следует обратить внимание при установке
При установке необходимо соответствовать параметрам апертуры инструмента, источника питания и системы охлаждения. Необходимо проверить совместимость напряжения и разъемов, а также убедиться, что температурный профиль лампы соответствует установленным параметрам. Лампа работает наилучшим образом, когда химический состав поверхности пластины контролируется. Наличие небольших количеств поверхностно-активных веществ может изменить процесс сушки, поэтому необходимо контролировать их количество на ранних этапах.