На производственном участке при использовании технологии Fan-Out WLP в процессе высушивания материалов возникают проблемы с качеством изделий: появляются дефекты на поверхности пластины. Небольшие отклонения температуры при высушивании фотополимера или эпоксидной смолы также приводят к проблемам. Это приводит к смещению контроля ширины линий, образованию пустот в структуре пластины и её деформации. Неравномерность температуры на всей площади пластины проявляется не только в данных счетчиков, но и в бракованных изделиях и потере производственных мощностей.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы разработали этот нагреватель для того, чтобы он соответствовал стандартам температурного контроля, которые используются в оборудовании для производства полупроводников. Стабильность температуры составляет ±0,1°C, что обеспечивает однородность температуры на всей активной поверхности пластины. Благодаря использованию инфракрасных элементов с кварцевыми компонентами достигается быстрый отклик и точный контроль температуры во время процесса высушивания.
Устройство предназначено для использования в чистых помещениях класса 1–100: конструкция устройства позволяет контролировать количество частиц в воздухе, а материалы, используемые в его составе, не выделяют газы. Устройство может работать круглосуточно без перерывов, что обеспечивает повторяемость процесса при производстве разных партий продукции.
Почему это работает При использовании технологии Fan-Out WLP энергия направляется на более большие и тонкие пластины, при этом края пластин не повреждаются. Этот нагреватель позволяет контролировать температуру прямо на месте контакта фотополимера с формой, что предотвращает возникновение напряжений и деформаций пластины. Это обеспечивает предсказуемое качество изделий, сокращает количество необходимых корректировок и сохраняет стабильность параметров процесса.
Потребление энергии снижается благодаря низкой теплоемкости устройства и точному контролю температуры. Также увеличивается срок службы устройства за счет использования качественных компонентов и чистых механических интерфейсов.
Что нужно знать При установке необходимо убедиться, что интерфейс крепления устройства соответствует спецификациям вашего оборудования, а также правильно подобраны источник питания и тип разъема. Необходимо также контролировать давление в камере и скорость потока газа в соответствии с заданными параметрами процесса. Следует также провести краткие испытания для определения теплового профиля и фиксации параметров процесса.