Out of the cleaning bath, a wafer comes with a skin of DI water. The drying oven has to strip that moisture off without cooking the photoresist or kicking up particles. If the timer drifts, dwell time wanders—and that shows up on the line as yield leak. So we built a timer for wafer drying ovens that keeps the process honest.
What it has to do, technically
This timer is meant for semiconductor thermal gear. Timing accuracy hits 0.1%, and repeatability is ±10 ms. It plugs straight into oven control loops, with 24 VDC and PLC interlocks, and it’s IP54-rated for the wet, chemical-heavy air around cleaning bays. Cleanroom-compatible construction, low-outgassing materials, and a display that shows elapsed time and cycle complete—no guesswork. The interface stays deliberately clean: set, start, confirm.
Why this matters on the drying step
Wafer drying lives on a tight thermal budget. If the cycle’s too short, you get water marks. Too long, and you risk photoresist reflow, or you set yourself up for edge bead headaches after the next coat/bake. This timer pulls the operator variable out of it and locks in the same cycle, lot after lot.
You end up with consistent dryness, fewer reworks, and particle counts that don’t swing shift to shift. It also keeps the paperwork straight, logging cycle times for SPC without adding noise to the line.
What you need to know for install
Install comes down to matching the oven’s control voltage and interlock logic. We provide wiring diagrams and calibration offsets so the timer’s window lines up with the oven’s ramp and soak. Schedule a 15-minute integration check during a maintenance window.
The timer is tough, but it’s not a replacement for temperature control. Pair it with a verified oven thermal uniformity plan, and you’re set.
ออกจากบ่อทำความสะอาด เวเฟอร์จะยังมีชั้นน้ำ DI ติดอยู่ เตาอบอบแห้งต้องกำจัดความชื้นนี้โดยไม่ทำให้โฟโตเรซิสต์เสียหายหรือเกิดฝุ่นละออง หากตัวจับเวลาคลาดเคลื่อน เวลาที่เวเฟอร์อยู่ในเตาก็จะเปลี่ยนแปลง ซึ่งส่งผลต่ออัตราการได้ผลิตภัณฑ์ในสายการผลิต ดังนั้นเราจึงพัฒนาตัวจับเวลาสำหรับเตาอบแห้งเวเฟอร์ที่ควบคุมขั้นตอนการทำงานได้อย่างแม่นยำ
หน้าที่ทางเทคนิค
ตัวจับเวลานี้ออกแบบมาสำหรับอุปกรณ์ควบคุมความร้อนในเซมิคอนดักเตอร์ ความแม่นยำในการจับเวลาคือ 0.1% และความสามารถทำซ้ำอยู่ที่ ±10 ms เชื่อมต่อโดยตรงกับระบบควบคุมเตาอบ ใช้แรงดันไฟฟ้า 24 VDC พร้อมระบบล็อก PLC และมีมาตรฐาน IP54 เพื่อทนต่อบรรยากาศชื้นและสารเคมีรุนแรงในโซนล้างทำความสะอาด โครงสร้างเหมาะสำหรับห้องสะอาด วัสดุปล่อยก๊าซต่ำ มีหน้าจอแสดงเวลาที่ดำเนินไปและสถานะรอบการทำงานเสร็จสิ้น ไม่ต้องเดา การใช้งานอินเทอร์เฟซจึงเรียบง่าย มีขั้นตอนแค่ตั้งค่า เริ่มทำงาน และยืนยัน
เหตุผลที่สำคัญในขั้นตอนอบแห้ง
กระบวนการอบแห้งเวเฟอร์มีข้อจำกัดด้านความร้อนอย่างเข้มงวด หากรอบเวลาสั้นเกินไปจะเกิดคราบน้ำ หากนานเกินไปจะเสี่ยงต่อการไหลตัวของโฟโตเรซิสต์ หรือเกิดปัญหาเส้นขอบชั้นวัสดุหลังจากการทาและการอบในรอบถัดไป ตัวจับเวลานี้จะตัดตัวแปรจากผู้ปฏิบัติงานออก และล็อกเวลารอบการทำงานให้นิ่งในทุกรอบงานอย่างต่อเนื่อง
จะได้ผลลัพธ์เป็นความแห้งสม่ำเสมอ ลดจำนวนงานซ่อมแซม และไม่มีการเปลี่ยนแปลงของปริมาณฝุ่นละอองในแต่ละกะ นอกจากนี้ยังช่วยจัดการเอกสารบันทึกเวลารอบเพื่อการควบคุมกระบวนการคุณภาพ SPC โดยไม่เพิ่มสัญญาณรบกวนในสายการผลิต
สิ่งที่ต้องรู้สำหรับการติดตั้ง
การติดตั้งเน้นการจับคู่แรงดันไฟและระบบล็อกของเตาอบ เราจัดเตรียมแผนผังการเดินสายและค่าปรับเทียบ เพื่อให้ช่วงเวลาของตัวจับเวลาตรงกับช่วงเพิ่มอุณหภูมิและพักความร้อนของเตา ควรกำหนดเวลาตรวจสอบการติดตั้งภายในเวลาบำรุงรักษาประมาณ 15 นาที
ตัวจับเวลานี้มีความทนทาน แต่ไม่ใช่ตัวควบคุมอุณหภูมิแทน เตรียมใช้งานคู่กับแผนควบคุมความร้อนของเตาอบที่ผ่านการตรวจสอบแล้วเพื่อให้ระบบทำงานครบถ้วนและถูกต้อง