ในกระบวนการผลิต คุณคงรู้ดีว่า การเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาในระหว่างการอบก็เพียงพอที่จะทำให้การควบคุมขนาดของชิปเสียไป และก่อให้เกิดข้อบกพร่องในวัสดุโฟโตรีซิสต์ได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีแหล่งความร้อนที่มีความสม่ำเสมอ ไม่ใช่แหล่งความร้อนที่มีค่าเปลี่ยนแปลงไปมา
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้หลอดไฟที่มีแผ่นทองคำปกคลุม ซึ่งใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น โดยหลอดไฟนี้ถูกบรรจุอยู่ในภาชนะที่ทำจากควอตซ์ที่มีแผ่นทองคำปกคลุมเช่นกัน สิ่งนี้ช่วยให้เกิดการให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ โดยมีการสูญเสียพลังงานจากการแผ่รังสีน้อยมาก นอกจากนี้ โครงสร้างของหลอดไฟแบบสองหลอดยังช่วยให้การกระจายความร้อนเท่าเทียมกัน ซึ่งช่วยลดจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป และช่วยให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วแผ่นชิปดีขึ้น
ในทางปฏิบัติ คุณจะได้แผ่นชิปที่มีอุณหภูมิสม่ำเสมอในช่วง ±0.1°C ทั้งในระหว่างการอบแบบนุ่มและการอบแบบแข็ง และมีความแม่นยำของอุณหภูมิในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์อยู่ที่ ±0.2°C แผ่นทองคำช่วยสะท้อนรังสีอินฟราเรดกลับเข้ามาในบริเวณที่ต้องการ ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิคงที่ และช่วยลดการใช้พลังงาน หลังจากการใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง ก็ยังคงมีความสม่ำเสมอของความเข้มของรังสีอยู่ โดยมีการเบี่ยงเบนน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่มันสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในการผลิต
กระบวนการผลิตโฟโตรีซิสต์นั้นต้องการความแม่นยำสูง การอบแบบนุ่มช่วยกำหนดค่าความหนืดและความสามารถในการยึดเกาะของวัสดุ ส่วนการอบแบบแข็งช่วยให้ภาพที่ถูกสร้างขึ้นเสร็จสมบูรณ์ และเตรียมพร้อมสำหรับการขัดถู หลอดไฟนี้สามารถใช้ได้กับกระบวนการลิโธกราฟีในช่วงความยาวคลื่น 150 มม. ถึง 300 มม. และสามารถใช้ได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดตั้งแต่ระดับ Class 1 ถึง Class 100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ขณะที่หลอดไฟทำงานอยู่
ด้วยเหตุนี้ คุณจะได้ชิปที่มีความสม่ำเสมอของขนาดสูง มีข้อบกพร่องน้อยลง และมีวัสดุที่สามารถนำกลับมาใช้ใหม่ได้มากขึ้น ความร้อนจะถูกส่งไปยังบริเวณที่จำเป็นเท่านั้น ดังนั้นจึงไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับส่วนที่ไม่จำเป็น นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพตลอด 24/7 ซึ่งช่วยลดปัญหาที่อาจเกิดขึ้น และลดช่วงเวลาที่ต้องบำรุงรักษา
สิ่งที่ควรระวังขณะติดตั้ง
การติดตั้งหลอดไฟนี้ต้องมีการปรับแต่งทางแสงอย่างแม่นยำ และต้องมีอุปกรณ์ที่สะอาดและไม่มีการสั่นสะเทือน หากมีการปรับแต่งที่ผิดพลาดเพียงไม่กี่มิลลิเมตร ก็จะส่งผลให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง
หลอดไฟนี้ทำงานด้วยความเข้มสูง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องปรับแต่งระบบควบคุมอุณหภูมิของแผ่นวัสดุและเวลาการเปิด-ปิดหลอดไฟให้เหมาะสม ก่อนการติดตั้ง ควรตรวจสอบแรงดันไฟฟ้าและความเข้ากันได้ของขั้วต่อกับอุปกรณ์ที่ใช้ด้วย เมื่อทุกอย่างเรียบร้อยแล้ว ก็จะได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในการอบทุกครั้ง