เครื่องทำความร้อนสำหรับการอบหลังการสัมผัสกับแสง (Post Exposure Bake PEB)

ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ขั้นตอน PEB คือขั้นตอนที่ใช้กำหนดค่าความกว้างของเส้นสายบนแผ่นวัสดุ หากปรับอุณหภูมิเพียง 0.5°C เท่านั้น...