Üretim katında, fotoresist pişirme sırasında yarım derece salınım, kritik boyutları değiştirmek ve birçok ürünü hurda haline getirmek için yeterlidir. Bu nedenle ısıtıcımızı tek bir noktaya odaklayarak tasarladık: ısısal stabilite “iyi olur” değil, işlemin ta kendisidir.
Teknik olarak önemli olan
Chuck genelinde ±0.1°C içinde wafer seviyesi uniformite ve her partide sabit kalan setpoint tekrar edilebilirliğini hedefliyoruz. Kısa dalga kızılötesi elemanlar, düşük termal atalete sahip hızlı ve temiz ısı transferi sağlar; böylece aşırı basınç olmadan hızlı ısı artışı yapılabilir.
Tüm sistem, Class 1–100 temiz oda görevine uygun olarak tasarlanmıştır. Malzeme ve yüzey kaplamaları, parça üretimini sıfırda tutmak ve tekrarlanan ıslak temizlik çevrimlerinde parçalanmadan dayanmak üzere seçilmiştir. 24 saatlik güvenilirlik, sağlam bir termal tasarım ve sıcak bölgeyi koruyan soğuma profillerinden kaynaklanır; bu da bakım ihtiyaçlarını azaltır.
Saha koşullarında neden dayanıklıdır
Litografi hatlarında, tutarlı soft bake ve hard bake sıcaklıkları doğrudan stabil fotoresist profillerine dönüşür—daha az defo, düşük CD değişkenliği ve yüksek verim. Aynı termal disiplin, solventlerin temizlenmesini sağlayan ve desenlerin çökmesini önleyen kontrolü sağlamak için wafer temizleme ve kurutma aşamasına da yansır.
Öngörülebilir performans daha az revizyon, az hurda ve güvenilir çalışma süresi sağlar. Enerji kullanımı etkili ısı transferi ve sıkı bekleme kontrolü ile yönetilir; böylece işletme maliyetleri azaltılırken çevrim süresi uzatılmaz.
Planlama sırasında dikkate almanız gerekenler
Kurulum, chuck arayüzü ile uyum sağlamak ve temiz oda hava akışının doğru kalması için egzoz yönlendirmesini teyit etmekle ilgilidir. Isıtıcı ancak oda basıncı ve gaz bileşimi tanımlı aralıklarda kaldığında spesifikasyon dahilinde çalışır; bunların dışına çıkılması durumunda uniformite olumsuz etkilenir.
Termal kütlenize ve pişirme profilinize tam uyum sağlamak için kısa bir devreye alma çalışması ayırın; böylece PID ayarlarını doğru şekilde yapabilirsiniz.