On fab alanında, termal kayma siren veya durma olarak görünmez. Kritik bir boyutun kayması, kenar boncuğunun incelmesi veya saatler süren bir verim kaybı olarak ortaya çıkar. Applied Materials ekipmanlarında, ısıtıcı başka bir değişken olamaz—işlem üzerinde dayanılan sabit olmalıdır.
Teknik olarak önemli olan
Infrared lambayı, kısa dalga yayılımı kullanarak enerji doğrudan wafer ve fotoresiste hızlıca gittiği için Applied Materials platformları için eşleştirilmiş bir termal kaynak olarak belirleriz. İşlem penceresi boyunca wafer seviyesinde ±0.1°C içinde tutarlılık sağlanır ve ısıtma ile bekletme profilleri tekrarlanabilir. Montaj, parçacık oluşumunu sıfıra indirerek Class 1–100 temiz oda kullanımı için malzeme ve sızdırmazlıklarla tasarlanmıştır. Çıkış, 5.000+ saat boyunca stabil kalır ve değiştirme aralıkları öngörülebilirdir; böylece bakım planlaması, duruş öncesinde yapılabilir.
Gerçek işlem adımlarında neden dayanıklıdır
Bu lamba, termal bütçenin hata payı olmadığı adımlara yöneliktir: wafer temizleme ve kurutma, kalan nemin mikro-kusurlar oluşturmasını engellemek için, ayrıca Soft Bake ve Hard Bake olmak üzere litografi pişirme işlemleri, burada sıcaklık doğruluğu profil kontrolü ve yapışmayı belirler. Infrared hızlı tepki verir, böylece ayar noktası ile substrat arasındaki termal gecikme azaltılır. Döngü süresi, direnç kimyasını zorlamadan düşer.
Daha sıkı tutarlılık, yeniden işleme partilerinin azalmasını sağlar ve temiz oda uyumlu yapı kusur sayısını düşük tutar. Enerji kullanımı, lamba doğrudan hedefi ısıttığı için (oda duvarlarını değil) düşer.
Değer vereceğiniz saha notları
Montaj ekipmana özgüdür. Lamba uzunluğu, bağlantılar ve montaj boşluklarını Applied Materials donanım revizyonu ve oda kurulumu ile karşılaştırarak doğrulayın.
Lamba, kontrollü hava akımı ve temiz koşullarda en iyi performansı gösterir—aşırı türbülans küçük termal gürültü ekler. Termal profili sabit tutmak için optik muayene ve planlı değişimler için rutin oluşturun ve değişim sırasında montaj donanımının tam kalmasını sağlamak için yedek parça bulundurun.