Temizleme banyosundan çıkan bir wafer, üzerinde DI su tabakası ile gelir. Kurutma fırını, bu nemi fotoresist malzemeyi bozup partikül oluşumuna yol açmadan kurutmak zorundadır. Zamanlayıcı saparsa, kalma süresi değişir ve bu durum hat üzerinde verim kaybı olarak kendini gösterir. Bu nedenle, wafer kurutma fırınları için işlemi kontrollü tutan bir zamanlayıcı geliştirdik.
Teknik olarak yapması gerekenler
Bu zamanlayıcı, yarı iletken termal cihazlar içindir. Zamanlama doğruluğu %0.1, tekrarlanabilirlik ±10 ms’dir. 24 VDC ve PLC interlock’ları ile fırın kontrol döngülerine doğrudan bağlanır ve temizleme alanlarının kimyasal yoğun, nemli ortamında IP54 koruma sınıfına sahiptir. Temiz oda uyumlu üretim, düşük outgassing malzemeler ve geçen zamanı ile döngü tamamını gösteren bir ekran sunar—tahmine yer bırakmaz. Arayüz kasıtlı olarak sade tutulmuştur: ayarla, başlat, onayla.
Kuruma aşamasında neden önemlidir
Wafer kurutma sıkı bir termal bütçede işler. Döngü çok kısa olursa su lekeleri oluşur. Çok uzun olursa, fotoresist yeniden akabilir veya sonraki kaplama/fırınlama aşamasında kenar boncuk (edge bead) sorunlarına yol açabilir. Bu zamanlayıcı, operatör kaynaklı değişkeni ortadan kaldırır ve parti parti aynı döngüyü kilitler.
Böylece tutarlı kuruluk sağlanır, revizyonlar azalır ve partikül sayıları vardiyadan vardiyaya dalgalanmaz. Ayrıca, SPC için döngü sürelerini kayıt altına alarak dokümantasyonun düzenli kalmasını sağlar, hattın gürültüsünü artırmaz.
Kurulum için bilmeniz gerekenler
Kurulum, fırının kontrol voltajı ve interlock lojiklerinin uyumlandırılması ile sınırlıdır. Kablo bağlantı şemaları ve kalibrasyon offsetleri sağlanır, böylece zamanlayıcının penceresi fırının rampa ve bekleme süreleriyle eşleşir. Bakım periyodu sırasında 15 dakikalık entegrasyon kontrolü planlayın.
Zamanlayıcı dayanıklıdır ancak sıcaklık kontrolünün yerini tutmaz. Onaylanmış bir fırın termal uniformite planıyla birlikte kullanıldığında yeterlidir.