На виробничій ділянці відхилення температури на півградуса під час випікання фоторезисту достатнє, щоб змінити критичні розміри та утворити багато бракованої продукції. Ось чому нагрівач сконструйований навколо однієї точки: термічна стабільність — це не «бажаний бонус». Це частина процесу.
Що має значення з технічної точки зору
Ми прагнемо до рівномірності по пластині в межах ±0,1°C по всій площі площини кріплення (chuck) та повторюваності встановленої температури, що залишається стабільною від партії до партії. Інфрачервоні елементи короткохвильового діапазону забезпечують швидкий та чистий нагрів з низькою тепловою інерцією — що дає змогу швидко підвищувати температуру без перевищення заданого рівня.
Вся система розрахована на використання у чистих приміщеннях класу 1–100. Матеріали та оздоблення поверхонь вибрані так, щоб виключити генерацію часток і витримувати багаторазові цикли вологого миття без руйнування. Надійність протягом 24 годин забезпечується за рахунок надійної теплової конструкції та профілів охолодження, які захищають гарячу зону та знижують потребу у технічному обслуговуванні.
Чому це працює в реальних умовах
У лініях фотолітографії стабільні температури м’якого та твердого випікання безпосередньо впливають на сталість профілів фоторезисту — менше дефектів, нижча варіабельність CD та вищий вихід продукції. Та сама теплова дисципліна застосовується і при митті та сушінні пластин, де рівномірний контрольований нагрів дозволяє ефективно видаляти розчинники та запобігає колапсу візерунків.
Передбачувана робота означає менше переделок, менше бракованої продукції та час безвідмовної роботи, на який можна покластися. Використання енергії оптимізоване за рахунок ефективної теплопередачі та точного керування часом витримки, що дозволяє знизити експлуатаційні витрати без збільшення тривалості циклу.
На що слід звернути увагу при плануванні
Монтаж вимагає сумісності з інтерфейсом площини кріплення та підтвердження правильного маршруту вентиляції, щоб зберегти належний повітряний потік у чистій кімнаті. Нагрівач відповідає технічним вимогам лише тоді, коли тиск у камері та склад газів перебувають у визначених межах; у разі відхилення uniformity погіршується.
Відведіть час на тестовий запуск для точного налаштування PID-регулювання відповідно до вашої конкретної теплової маси та профілю випікання.