На виробничому майданчику
Зміщення температури на 0.5°C у профілі випікання PECVD-камери не є незначним. Це проявляється у вигляді неоднорідності товщини по всій пластині, нерівномірного напруження та великої кількості бракованих лотів. Вам потрібне тепло, яке слідує за процесом, а не навпаки.
Що важливо за лаштунками
Ми розробили інфрачервоний випромінювач для нагрівання PECVD на основі короткохвильового NIR, оскільки час реакції вимірюється секундами, а не хвилинами. Мета - досягти однорідності на рівні пластини ±0.1°C по всій зоні випікання, і це значення залишається стабільним під час обробки як у м’якому, так і в жорсткому випіканні. Кварцова оболонка та керамічний корпус сумісні з чистими кімнатами класу 1–100, а термічний дизайн виключає генерацію часток. Повторюваність виходу залишається в межах 1% протягом тисяч циклів, тому ваш тепловий бюджет залишається під контролем.
Чому це важливо в літографії та PECVD
Фоторезист і осаджені плівки чутливі до гарячих точок та холодних країв. Цей випромінювач підтримує стабільний тепловий профіль від центру до краю, що зменшує варіацію ширини лінії та підвищує вихід продукції. Швидка термічна реакція скорочує час обробки камери, а стабільне випромінювання зменшує витрати енергії. Робочі вікна звужуються передбачувано, з меншою кількістю повторних кваліфікацій та меншою кількістю незапланованого простою.
Практичні деталі, які не можна пропустити
Випромінювач працює, коли він відповідає потрібній геометрії відбивача та джерела живлення. Очікуйте чітких вимог до сумісності з існуючими кріпленнями та з’єднувачами камер, і ретельно сплануйте допуск на вирівнювання під час модернізації. Стабільність виходу є максимальною, коли повітряний потік і тиск кріплення залишаються в межах вказаного діапазону, тому розглядайте механічний інтерфейс як частину термічної системи, а не як доповнення.