На виробничій лінії все просто: навіть кривина в півградуса під час процедури „м’якого випалювання“ достатня, щоб порушити контроль за критичними розмірами та спричинити появу дефектів на поверхні пластини. Тож потрібен джерело тепла, яке буде діяти стабільно, а не як ще одна змінна, яку потрібно постійно контролювати.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо лампу з двома трубками, покриту золотом; вона випромінює короткочастотне інфрачервоне світло. Лампа розташована в кварцовому корпусі також покритому золотом. Це забезпечує швидке та направлене нагрівання з мінімальними втратами енергії. Геометрія двох трубок допомагає рівномірно розподіляти тепло, що зменшує кількість „гарячих точок“ та покращує просторову однорідність поверхні пластини.
На практиці це означає, що температура на поверхні пластини залишається стабільною в межах ±0,1°C під час процедур „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання. Крім того, повторюваність значень температури становить ±0,2°C між окремими партіями продукції. Золоте покриття відбиває інфрачервоне світло назад у цільову зону, що дозволяє краще контролювати температурний профіль та економити енергію. Після 5 000 годин роботи продуктивність лампи залишається стабільною, з відхиленням інтенсивності світіння менше ніж на 5%.
Чому це ефективно в промисловості
Процес обробки фотоРезисту не переносить жодних помилок. „М’яке випалювання“ визначає в’язкість та здатність фотоРезисту до прилипання; „жорстке випалювання“ завершує процес формування зображення та підготовлює поверхню пластини до подальшої обробки. Ця лампа підходить для літографічних процесів на довжині хвилі від 150 мм до 300 мм. Вона може використовуватися в умовах чистих приміщень класу від 1 до 100, не створюючи жодних частинок під час роботи.
Це дозволяє досягти кращого контролю за розмірами пластини, зменшує кількість необхідних корекцій та сміття. Тепло потрапляє саме туди, де це необхідно, тож не витрачається енергія даремно. Крім того, лампа може працювати 24/7 без проблем, що зменшує кількість несподіванок та часу на технічне обслуговування.
На що слід звернути увагу під час встановлення
Встановлення полягає у точній оптичній налаштуванні та використанні пристрою, який захищений від вібрацій. Навіть кілька міліметрів помилки у налаштуванні можуть призвести до порушення однорідності температури.
Лампа працює при високій інтенсивності світіння, тож необхідно правильно налаштувати систему керування температурою та часом роботи лампи. Перед встановленням обов’язково перевірте сумісність напруги та кабелів з інтерфейсом обладнання. Якщо все налаштовано правильно, можна отримувати стабільні результати під час процедур випалювання – щодня, для кожної партії продукції.