لیتھوگرافی کے عمل میں، PEB مرحلہ وہ ہے جہاں لائنوں کی چوڑائی کو مقرر کیا جاتا ہے۔ اگر ویفر کے درجہ حرارت میں 0.5°C کی تبدیلی کی جائے، تو اس سے ایسا بایاس پیدا ہوتا ہے جس کو دور کرنے میں ہفتوں لگ جاتے ہیں۔ ہم نے اس “پوسٹ ایکسپوزر بیک ہیٹر” کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے، تاکہ اس مسئلے سے نجات حاصل کی جاسکے۔
اس آلے کے اندر کیا اہم چیزیں ہیں؟
اس آلے کا بنیادی حصہ کوارٹز-ہیلوجن شارٹ-ویو ایمیٹر ہے، جس کے ساتھ کلوزڈ-لوپ کنٹرول سسٹم بھی موجود ہے۔ 300 ملی میٹر کے ویفر پر، درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ مختلف بیچوں میں بھی درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.2°C کے اندر ہی رہتی ہے، اس طرح فوٹوریزسٹ کی خصوصیات میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔ چیمبر کے مواد کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہیں، اور ہیٹر کی ساخت کی وجہ سے ٹربولنس کم رہتی ہے، جس سے بیکنگ کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ 90°C سے 150°C تک استحکام برقرار رہتا ہے، اور درجہ حرارت کی تیزی 10°C/سیکنڈ تک ہے۔ اس طرح ہاٹ اسپاٹس سے بچا جاسکتا ہے۔
PEB کے درجہ حرارت میں غلطی کے کیا نتائج ہیں؟
PEB کے درجہ حرارت میں غلطی سیدھے CD میں غلطی اور پروڈکشن میں کمی کا سبب بنتی ہے۔ اس ہیٹر کی بدولت، سافٹ بیکنگ اور ہارڈ بیکنگ کے عمل ویسے ہی ہوتے ہیں جیسے منصوبہ بندی کی گئی ہے، نہ کہ آلے کی خودمختار فیصلوں کے مطابق۔ اس کے نتیجے میں ضائع ہونے والے ویفرز کی تعداد کم ہوتی ہے، اور اہم پرتوں پر درجہ حرارت کی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔
اس آلے کو چلانے کے لئے کیا ضروری ہے؟
یہ ہیٹر معیاری FOUP اور SEMI انٹرفیسز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن اس کے لئے 24V کنٹرول لائن اور صاف، خشک ہوا کی ضرورت ہے۔ انسٹالیشن کے وقت، الائنمنٹ اور تھرمل ڈرفٹ چیک کے لئے 30 منٹ کا وقت درکار ہے۔ اس کے بعد، ہر روز کیلبریٹڈ ویفر کے ساتھ درجہ حرارت کی یکسانیت کی جانچ کی جاتی ہے۔
اگر آپ ایک اعلیٰ نمی والے ماحول میں ہیں، تو کیا کرنا چاہیے؟
اگر آپ ایک اعلیٰ نمی والے ماحول میں ہیں، تو پرج ویلیو کی جانچ ضرور کریں۔ ورنہ، کنڈینسیشن کی وجہ سے انفراریڈ راستے میں خلل پڑ سکتا ہے، جس سے چھوٹی، دہرائی جانے والی غلطیاں پیدا ہو سکتی ہیں۔