Bảo vệ an toàn: Máy sưởi bằng tia hồng ngoại trong quy trình làm sạch hóa chất
Khi thực hiện công việc làm sạch chất bán dẫn, bạn đang phải đối mặt với những chất lỏng dễ bay hơi và khí dễ cháy. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc một vết nứt nhỏ trên bộ phận gia nhiệt, mọi thứ có thể trở thành một thảm họa. Điều này thật sự gây ra nhiều áp lực.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ tạo ra những chiếc máy sưởi thông thường; chúng tôi tạo ra những chiếc máy có khả năng chịu đựng được những điều kiện khắc nghiệt.
Lớp vỏ bảo vệ
Chúng tôi không để ống thủy tinh trần trụi. Điều đó sẽ gây ra nhiều rắc rối. Thay vào đó, chúng tôi bọc toàn bộ bộ phận gia nhiệt trong một lớp vỏ kín, nhằm ngăn các khí dễ cháy tiếp xúc với các sợi dây điện nóng.
Tùy thuộc vào mức độ nguy hiểm của các chất tẩy rửa, chúng tôi sử dụng lớp vỏ làm từ thủy tinh có độ tinh khiết cao hoặc vật liệu gốm cứng. Lớp vỏ này đóng vai trò như một “lớp lá chắn”. Nếu có sự rò rỉ hóa chất xảy ra – và thực tế thì điều này vẫn có thể xảy ra – thì chất lỏng sẽ chạm vào lớp vỏ, chứ không phải vào các sợi dây điện. Đây là giải pháp đơn giản nhưng hiệu quả để tránh thảm họa.
Giữ nhiệt độ ổn định
Để tránh tình trạng nhiệt độ dao động quá mức, chúng tôi lắp các cảm biến nhiệt ngay vào bộ phận gia nhiệt. Những cảm biến này giúp theo dõi dòng nhiệt tức thời.
Chúng tôi sử dụng dây dẫn có lớp cách điện để kết nối các cảm biến này, vì dây dẫn thông thường sẽ bị chảy máu hoặc ăn mòn khi tiếp xúc với các khí độc hại. Nhờ vậy, bạn có thể tin tưởng vào hệ thống kiểm soát nhiệt độ của mình. Bạn sẽ có được nhiệt độ ổn định trên bề mặt wafer, mà không cần lo lắng về việc nhiệt độ tăng vọt.
Những trade-off cần lưu ý
Điều cần lưu ý là việc thêm lớp bảo vệ sẽ tạo ra một khoảng cách nhiệt nhỏ. Bạn sẽ mất đi một lượng nhiệt nhỏ so với trường hợp không có lớp bảo vệ.
Để bù đắp cho điều này, chúng tôi tăng công suất của máy lên một chút. Bạn vẫn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn, nhưng hãy chắc chắn rằng hệ thống thoát khí của bạn có thể xử lý được lượng nhiệt thêm này.
Chúng tôi thiết kế những chiếc máy này để chịu đựng được những điều kiện khắc nghiệt. Chỉ cần kết hợp chúng với bộ điều khiển có khả năng chống nổ, bạn có thể yên tâm sử dụng chúng ngay cả trong những môi trường có nhiều hơi độc hại.