Trên sàn sản xuất, sự trôi nhiệt không xuất hiện dưới dạng còi báo động hay lệnh dừng máy. Nó thể hiện qua kích thước quan trọng bị lệch, mép cạnh mỏng đi, hoặc sản lượng bị ảnh hưởng khiến việc truy xuất nguyên nhân mất hàng giờ. Trong thiết bị của Applied Materials, bộ phận gia nhiệt không được phép là một biến số khác—nó phải là hằng số mà quy trình dựa vào.
Những yếu tố kỹ thuật quan trọng
Chúng tôi thiết kế đèn hồng ngoại như một nguồn nhiệt đối ứng cho các nền tảng của Applied Materials, sử dụng phát xạ sóng ngắn để năng lượng đi thẳng vào wafer và lớp photoresist, nhanh chóng. Bạn đạt được sự đồng đều trên wafer trong phạm vi ±0.1°C trên toàn bộ cửa sổ quy trình, cùng với các đồ thị tăng nhiệt và giữ nhiệt có thể lặp lại. Cụm đèn được chế tạo để sử dụng trong phòng sạch Class 1–100, với vật liệu và gioăng làm giảm phát sinh hạt về mức không. Công suất đầu ra ổn định trên 5.000 giờ, và chu kỳ thay thế có thể dự đoán, giúp bạn lập kế hoạch bảo trì trước khi máy ngừng hoạt động.
Tại sao nó giữ được hiệu quả trong các bước quy trình thực tế
Đèn này tập trung vào những bước mà ngân sách nhiệt không cho phép sai sót: làm sạch và sấy wafer, nơi độ ẩm còn sót lại sẽ gây ra các lỗi vi mô, cùng các bước nướng trong lithography—Soft Bake và Hard Bake—nơi độ chính xác nhiệt độ quyết định kiểm soát đồ thị nhiệt và độ bám dính. Hồng ngoại phản ứng nhanh, giảm trễ nhiệt giữa nhiệt độ cài đặt và bề mặt wafer. Thời gian chu trình giảm mà không gây áp lực lên hóa chất resist.
Độ đồng đều cao hơn làm giảm số lô cần làm lại, và cấu trúc tương thích phòng sạch giữ số lượng khuyết tật ở mức thấp. Tiêu thụ năng lượng giảm vì đèn làm nóng trực tiếp mục tiêu, không phải thành buồng.
Ghi chú thực địa bạn nên lưu ý
Việc lắp đặt phụ thuộc vào thiết bị cụ thể. Xác nhận chiều dài đèn, đầu nối và khoảng cách lắp so với phiên bản phần cứng Applied Materials và cấu hình buồng.
Đèn hoạt động tốt nhất trong điều kiện kiểm soát lưu lượng khí và sạch sẽ—nhiều nhiễu động không khí gây ra tiếng ồn nhiệt nhỏ. Duy trì lịch kiểm tra quang học và thay thế định kỳ để giữ ổn định đồ thị nhiệt, đồng thời chuẩn bị sẵn phụ kiện lắp đặt dự phòng để thao tác thay thế được chặt chẽ.