Tại sao việc sử dụng máy sấy bằng sóng hồng ngoại trong môi trường chân không là giải pháp tốt nhất để khử chì khỏi quy trình sản xuất?
Ngành bán dẫn đang nỗ lực hết sức để đạt được các tiêu chuẩn “xanh” và không chứa chì. Nhưng vấn đề là những lò sấy thông thường không thể đáp ứng được yêu cầu này. Chúng mất quá nhiều thời gian để làm nóng không khí; đó là cách làm chậm quá trình sấy, và đồng thời cũng là sự lãng phí điện năng.
Vì vậy, chúng ta chuyển sang sử dụng máy sấy bằng sóng hồng ngoại trong môi trường chân không. Thay vì dùng không khí để truyền nhiệt, sóng hồng ngoại truyền nhiệt trực tiếp vào wafer hoặc vật liệu cần sấy. Không cần qua trung gian nào, cũng không cần chờ đợi không khí được làm nóng.
Cơ chế hoạt động của máy sấy này như thế nào?
Trong môi trường chân không, không có dòng khí nào để truyền nhiệt. Đó là một “vùng chết” về mặt truyền nhiệt. Chúng tôi thiết kế máy sấy sao cho có thể chịu được nhiệt độ cao trong khi vẫn duy trì được trạng thái chân không. Bằng cách sử dụng các bộ phát sóng hồng ngoại sóng ngắn hoặc sóng trung bình, chúng ta có thể truyền nhiệt trực tiếp vào vùng cần sấy. Kết quả là chi tiết cần sấy sẽ đạt đến nhiệt độ mong muốn chỉ trong vài giây thôi.
Chi tiết về cấu tạo máy sấy
Chúng tôi không tiết kiệm chi phí trong việc chọn vật liệu. Chúng tôi sử dụng thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao hoặc các vật liệu gốm đặc biệt để chế tạo lớp vỏ bọc máy sấy. Bởi vì việc các khí thoát ra từ máy sấy sẽ gây ô nhiễm silicon và phá hủy toàn bộ lô sản phẩm. Chúng tôi cũng chọn loại sợi dây có khả năng chịu được dòng điện cao. Đó là cách duy nhất để đảm bảo rằng nhiệt được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Tuy nhiên, cần lưu ý đến vấn đề giãn nở nhiệt. Khi máy sấy hoạt động ở công suất tối đa trong môi trường chân không, nhiệt sẽ không thể thoát ra ngoài. Điều này gây áp lực lớn lên các bộ phận làm mát và các linh kiện khác của máy sấy. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh, máy sấy sẽ bị biến dạng. Và chắc chắn ai cũng không muốn điều đó xảy ra.
Lợi ích của việc sử dụng máy sấy bằng sóng hồng ngoại
Phương pháp sấy này ít gây ô nhiễm hơn. Không có chất thải từ quá trình đốt cháy hay các chất VOC trong không khí. Ngoài ra, đây còn là giải pháp thay thế tốt cho những lò sấy cũ, tiêu tốn nhiều năng lượng. Bạn sẽ tiết kiệm được diện tích sử dụng, đồng thời giảm chi phí tiền điện. Bởi vì bạn chỉ cần sấy riêng từng chi tiết mà thôi. Đây là giải pháp hiệu quả, êm ái, và dễ sử dụng.