在晶圆制造过程中，一个微小的水渍都可能对光刻后的晶圆造成严重损害。传统的干燥方式会导致温度波动，同时，颗粒物也会从高温表面附着在晶圆上。我们设计了去离子水干燥系统，以此来消除这些问题。短波红外线能够快速加热水膜的表面，而不会影响到光阻层。这样一来，晶圆就能得到彻底的干燥处理，而且整个干燥过程的温度也能得到精确控制。
关键点在于： 短波红外线可以迅速穿透水膜。石英外壳和反射器结构则确保热量集中在需要的位置。这样，晶圆表面的温度误差可控制在±0.1℃以内，同时光阻层的干燥过程也能得到精确控制。该系统可在1-100级的洁净室中使用。加热区域内不会产生任何颗粒物，也不会有气体逸出从而污染光阻层。功率密度经过精心调整，既能实现有效蒸发，又不会超过光阻层的耐热极限。灯具的输出功率能够保持稳定，经测试，该灯具连续运行5,000小时以上，性能下降幅度仍低于5%。
为什么它适合用于生产？ 由于采用了这种设计，不再需要使用那些效率较低的対流式干燥装置或加热板。这样一来，晶圆就能更快地干燥，而且其表面的接触角也能保持稳定。光阻层的性能也能在每次生产中保持一致。这样一来，就需要返工的次数就会减少，废品率也会降低，同时还能更精确地控制晶圆的尺寸。此外，由于我们只是加热水和晶圆本身，而不是周围的空气，因此能耗也会降低。由于该设计没有活动部件，也没有较大的热质量，因此更换频率也会降低，维护成本也会相应减少。
需要注意的事项： 安装时，需要确保灯具与设备的接口、电源以及冷却系统相适配。还要检查电压和连接器的兼容性，确保灯具的发热情况与现有的工艺要求相匹配。当晶圆表面的化学性质得到良好控制时，灯具的性能才能达到最佳状态。微量的表面活性剂可能会影响干燥过程，因此需要在生产前就处理好这些问题。